高真空电动线性平台LSA10A-V2T4

无刷线性伺服电机驱动台，结合了非常高的速度和精密亚微米定位。这是高吞吐量和高要求线性运动应用的完美组合。用于工作台定位的Lineax®直接驱动线性电机比传统的螺杆驱动工作台更具优势。l直接驱动系统提供出色的轨迹控制。这些刚性、无弹性结构的特性使其具有更快的稳定时间、更高的可重复性和较快的伺服响应。在没有旋转惯性的情况下，可以实现更快的加速度和更高的速度。消除了旋转部件的磨损，提高了可靠性，延长了正常运行时间，并延长了维修间隔，其中每一项都有助于降低拥有成本。带有高分辨率编码器的直接驱动线性电机可实现精确的速度调节。LINEAX中的直线电机和其他组件可以准备真空兼容性。

设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

长行程电动线性平台8MT295系列平台设计用于提供高速运动。标准电机允许移动高达60公斤的负载。使用功率更大的电机可以提高负载能力。该级提供中等分辨率和精度。8MT295系列载物台配有3P295平台、3BP295底板（2块）和适量的3SN195嵌件。8MT295系列工作台的分辨率和速度可以通过选择合适的滚珠丝杠节距来改变。有几个标准选项可供选择，应在订购时指定。

Zaber的TSB系列平移平台是滚珠轴承线性平台，行程为28 mm或60 mm。它们与我们的T-NA系列微型线性致动器、T-LA系列微型线性致动器和我们的NA11系列步进线性致动器兼容，可用于XY平台配置。带有手动千分尺测头的版本具有25 mm或50 mm的行程和0.01 mm的分辨率。它们也可以直接安装在XY配置或带有AB90E（英制）角托架或AB90M（公制）角托架的XYZ配置中。

我们较近发布了X-LSM-SV2，这是一款经过改进的新型低真空电动线性平台，内置控制器。如果您正在寻找T-LSM-SV2，请参阅T-LSM-SV2页面。如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项，请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。Zaber的X-LSM-SV2系列设备是高真空兼容、计算机控制、电动线性平台，具有高推力和速度能力，尺寸紧凑。它们是独立的装置，只需要标准的24 V或48 V电源。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口，并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源，使多个X系列产品可以共享一个电源。这些微型级的高度仅为21 mm，非常适合需要小外形的应用。X-LSM-SV2采用真空兼容材料设计，以较大限度地减少放气，并允许更快的抽气时间。与Zaber的所有产品一样，X-LSM-SV2系列采用“即插即用”设计，非常易于设置和操作。