AvaSpec-NIR256-2.2TEC

当您寻找高分辨率时，请查看AvaSpec-ULS3648。它采用电子快门，可支持短至10微秒的积分时间，使其也成为CW激光测量的理想选择。选项包括防止二阶效应的顺序排序过滤器、在深紫外线范围内具有更高灵敏度的深紫外线探测器涂层，以及增强整体灵敏度的探测器收集透镜。此外，还提供各种狭缝尺寸、光栅和光纤入口连接器。

波长范围: 190 - 1700 nm

FilmTek™2000 PAR-SE组合计量生产线是我们较先进的台式计量解决方案，具有业内较高的准确度、精度和多功能性。FilmTek™2000 PAR-SE的设计旨在满足从研发到生产的几乎所有先进薄膜测量应用的需求。FilmTek™2000 PAR-SE结合了光谱椭圆偏振法和DUV多角度偏振反射法，具有宽光谱范围，可满足较具挑战性的测量需求。SCI的专利抛物面镜技术可实现低至50µm的小光斑尺寸，非常适合直接测量产品晶圆和图案化薄膜。FilmTek™2000 PAR-SE结合了专利多角度差分偏振（MADP）和差分功率谱密度（DPSD）技术，利用多角度偏振光谱反射计独立测量薄膜厚度和折射率。通过独立测量折射率和厚度，FilmTek™2000 PAR-SE对薄膜（尤其是多层堆叠中的薄膜）的变化比依赖于传统椭圆偏振或反射测量技术的现有计量工具更加敏感。FilmTek™2000 PAR-SE是一个完全集成的软件包，配有先进的材料建模软件，即使是较严格的测量任务也能可靠和直观地完成。硬件和软件都可以轻松修改，以满足客户的独特需求。

Spectrum Scientific的UV 470光谱仪采用了我们的像差校正凹面全息光栅。我们的光栅是闪耀的，以获得在紫外区的峰值性能。UV 470光谱仪在190-850nm的光谱范围内工作。单个全息光学元件设计提供低杂散光（0.07340nm），这提高了信噪比。对于OEM应用，您可以选择狭缝尺寸或订购不带驱动板的UV 470。

波长范围: 200 to 1000 nm

爱丁堡仪器公司（Edinburgh Instruments）的FLS1000是一款模块化荧光和磷光光谱仪，用于测量从紫外到中红外光谱范围（高达5，500 nm）的光谱，寿命范围从皮秒到秒。对于使用SQRT方法的标准水拉曼测量，该仪器具有>30，000：1（可选>35，000：1）的保证灵敏度。它标配450 W无臭氧氙弧灯，覆盖230 nm至>1000 nm的稳态测量范围。FLS1000中提供单光栅和双光栅Czerny-Turner单色仪，焦距为325 mm（或2 X 325 mm），具有高光学吞吐量、出色的杂散光抑制和低时间色散。单色仪具有“即插即用”的三重光栅转台，每个转台上最多有三个光栅和计算机控制的狭缝。FL1000有一个非常大的样品室，可以从各个侧面、顶部和底部接触样品。它有一个USB接口，所有的操作模式都由一个数据采集模块和一个包罗万象的Fluoacle软件包控制，用于数据采集和分析。光源、探测器、光栅、狭缝、偏振器均由计算机控制，以实现精确测量。

inSE-1000 是 Semilab 推出的新型原位光谱椭偏仪。在 ALD 室等真空室中进行蚀刻过程或层沉积时，该工具可通过椭偏光谱分析快速获取层厚度和光学特性。它还可以安装在负载锁定室、冷却室和转移室上，在不干扰真空的情况下进行后处理研究。