D510203FX

波长: 410nm

FLC提供各种二极管泵浦固体激光器产品、较小的DPSS激光头、低成本模块、低功率和高功率激光系统以及具有不同功率输出和波长的高质量单纵模激光系统。

波长: 1064nm

我们Microchip系列的SB1-1064-15-15是一款短纳秒脉冲、15uJ、低SWAP、超紧凑、10 kHz–15 kHz、被动调Q的DPSS激光器。Bright MicroLaser推出了全新的、完全重新设计的一体化SB1型号，进一步推动了其独特的微芯片激光技术。得益于其先进的光学、机械和电子设计，Bright MicroLaser能够将光学腔以及驱动和监控电子设备合并到一个高度集成且坚固耐用的激光封装中。在保持同样出色的激光输出性能的同时，SB1型号在不同的输出波长下提供28种标准配置，范围从236.5nm到1064nm，提供高达80µJ的脉冲能量，脉冲持续时间从几ns到350ps，工厂设置的重复率从单次到100kHz，并且能够产生窄线宽的单频操作，M^2<1.3，脉冲到脉冲不稳定性<3%。所有这些型号均可互换，在不同波长之间共享相同的外形尺寸和电气及软件接口，使其成为希望探索新应用的系统集成商的灵活通用解决方案。

波长: 1064 nm

来自Photon Energy的Cepheus Mark 1012是一种波长为1064 nm、功率为12 W、脉冲能量为250µJ、工作温度为20至35摄氏度的激光器。有关Cepheus Mark 1012的更多详细信息，请参见下文。

波长: 650 nm

BEA Lasers的328-5系列是一款波长为650 nm、功率为3 MW、输出功率（CW）为3 MW、工作温度为15至60摄氏度的激光器。有关328-5系列的更多详细信息，请参见下文。

波长: 193 nm

先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律，技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE（Edge Placement Error）具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness)，为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%，减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件，将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性，为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。