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GT66A 激光器模块和系统

GT66A

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日本
厂家:Gigaphoton

更新时间:2024-04-19 14:40:59

型号: GT66A满足进一步技术要求的浸没式光刻光源

GT66A概述

先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律,技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE(Edge Placement Error)具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness),为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%,减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性,为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。

GT66A参数

  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 功率 / Power : 60-90 W

GT66A详述

主要特点

改善最尖端节点的成品率

通过新开发的光学模块将散斑对比度降低30%,并实现了LER/LWR的改善。从而为光刻尖端节点批量生产的节点进一步改善提供帮助。

高水平的可用性

还通过引入最新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现高水平的可用性,并有助于提高生产性。

提供可持续发展解决方案

该光源标配无氦技术,除可以防备稀有气体供给不足的风险外,还能通过气体的消耗量削减技术实现更环保。

 

主要规格

规格项目*
振荡波长193 nm
输出60 – 90W
振荡频率6,000 Hz
光谱宽度(95%能量积分宽度-E95)300 +/- 1.5fm wafer average
特点减少EPE的解决方案
Continuous Reliability Improvement (CRI) Package
可持续发展解决方案

(*) 上述各规格值为代表值

GT66A规格书

GT66A厂家介绍

Gigaphoton Inc.是一家相对年轻的公司,成立于2000年,旨在整合小松公司在激光技术开发方面的多年经验和成就。

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