超快激光脉冲产生的出现,标志着激光科学的一个重要里程碑,引发了广泛学科的惊人进步,包括工业应用,能源技术,生命科学等。在已开发的各种激光平台中,光纤飞秒振荡器以其紧凑的设计、优异的性能和高性价比成为飞秒脉冲产生的主流技术之一。
GT66A
更新时间:2024-04-19 14:40:59
GT66A概述
先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律,技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE(Edge Placement Error)具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness),为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%,减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性,为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。
GT66A参数
- 波长 / Wavelength : 193 nm
- 功率 / Power : 60-90 W
GT66A详述
主要特点
改善最尖端节点的成品率
通过新开发的光学模块将散斑对比度降低30%,并实现了LER/LWR的改善。从而为光刻尖端节点批量生产的节点进一步改善提供帮助。
高水平的可用性
还通过引入最新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现高水平的可用性,并有助于提高生产性。
提供可持续发展解决方案
该光源标配无氦技术,除可以防备稀有气体供给不足的风险外,还能通过气体的消耗量削减技术实现更环保。
主要规格
规格项目 | 值* |
---|---|
振荡波长 | 193 nm |
输出 | 60 – 90W |
振荡频率 | 6,000 Hz |
光谱宽度(95%能量积分宽度-E95) | 300 +/- 1.5fm wafer average |
特点 | 减少EPE的解决方案 Continuous Reliability Improvement (CRI) Package 可持续发展解决方案 |
(*) 上述各规格值为代表值
GT66A规格书
GT66A厂家介绍
Gigaphoton Inc.是一家相对年轻的公司,成立于2000年,旨在整合小松公司在激光技术开发方面的多年经验和成就。
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