TLB-7102-02

波长: 946nm

FLC提供各种二极管泵浦固体激光器产品、较小的DPSS激光头、低成本模块、低功率和高功率激光系统以及具有不同功率输出和波长的高质量单纵模激光系统。

新型iRadion Infinity CO2激光器系列将单片陶瓷谐振器的卓越性能与较新的射频设计集成到一个集成封装中。其结果是紧凑、高效和强大的激光器，具有快速上升和下降时间和良好的光学特性。可用选项：光束扩展器指针二极管

波长: 527 nm

Power Technology Inc.的DTL-413-1500是一款波长为527 nm、功率为350 MW、输出功率（CW）为350 MW、工作温度为15至40摄氏度的激光器。有关DTL-413-1500的更多详细信息，请参见下文。

波长: 532 nm

Picotronic的DD532-3-5（21x21x50）是一款波长为532 nm、功率为3 MW、输出功率（CW）为3 MW、工作温度为15至30摄氏度、存储温度为-40至80摄氏度的激光器。有关DD532-3-5（21x21x50）的更多详细信息，请参见下文。

波长: 193 nm

氩氦射线干式光刻技术在芯片制造过程中至关重要。ArF 干法光刻光源（如赛默公司的 XLA 105）可对晶片上的大量中间关键层进行图案化，同时延长模块寿命并加强关键尺寸 (CD) 控制。 随着 CD 的不断缩小，以及对最关键层更精细分辨率的需求，ArF 干光刻工具也开始对非关键层进行图案化，而这些非关键层历来是由 KrF 光源进行图案化的。赛默公司的干式光刻光源具有可靠性和成本效益，是大批量生产的理想选择。