[Cave-X定位器] XYZ轴电动线性平台 - KWG06020 (线性球导轨)

如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项，请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。Zaber的X-LRQ-SV2系列设备是高真空、计算机控制、电动线性平台，具有高刚度、高负载和高寿命能力，尺寸紧凑。它们是独立的装置，只需要标准的24 V或48 V电源。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口，并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源，使多个X系列产品可以共享一个电源。这些真空级高度仅为36 mm，非常适合需要低轮廓的应用。X-LRQ-SV2的创新设计允许速度高达205 mm/s，负载高达100 kg。与Zaber的所有产品一样，X-LRQ-SV2系列采用“即插即用”设计，非常易于设置和操作。这些载物台可以用螺栓固定在XY系统中。

ABTECH的精密油静液压转台系列可满足各种零件尺寸和重量的运动需求。专为较苛刻的应用而设计，油静液压油膜轴承提供高负载能力和极高的刚度。每个阶段提供超平滑运动，亚微米精度和绝对可重复性。内部设计和制造，几何公差极其严格。ABTECH的静压轴承没有磨损或产生阻力的机械接触部件。这允许数十年可靠的免维护运动。我们的静液压转台通常用于广泛的机械加工和磨削应用中，在这些应用中，需要平稳和可重复的运动。它们是理想的独立单元和/或多轴组件，通常出现在机械加工和磨削系统中。ABTECH的质量、精度和设计灵活性是我们的静压轴承满足超精密运动需求的原因。所有旋转工作台都可以定制各种选项和附件。这包括电机驱动器、静液压泵装置（HPU）、真空工作台、高分辨率光学编码器、数字读数（DRO）显示器、检验级花岗岩表面板和表架。除了选件和附件之外，材料选择也是我们应用工程师关注的重点。对于恶劣的环境，严格的准确性，精度和稳定性，我们将使用硬化不锈钢轴承部件。这提供了对可能由低油压、过载或操作员错误导致的轻微意外触地的宽容度。我们的精密运动专家将与您密切合作，配置满足您确切需求的线性运动解决方案。

设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

由于其紧凑的设计，低成本的VT-21L线性平台在空间非常有限的应用中表现出色。该平台采用两相步进电机，并配有两个机械限位开关。预加载球滑块创造了高刚度和卓越的性能。VT-21L配有分辨率为0.05µm的可选线性编码器。载物台可安装在XY或XYZ配置中，节省空间。可提供能够在真空（10-6 mbar）中操作的版本。VT-21L与MMC-200控制器兼容。

ZABER的X-RSW系列产品是内置控制器的电动旋转舞台设备。额定扭矩为2.25 N-m，是高精度角度定位应用的理想选择。它们是独立的装置，只需要标准的24-48 V电源。索引旋钮可在两个方向上以可变速度提供平滑的手动控制，即使在没有计算机的情况下也可进行多功能操作。按住可在速度模式和位置模式之间切换，转动可移动载物台，按下可停止。该级连接到任何计算机的USB 2.0或RS-232端口，并且每个链可以链接多个单元。它们可以与任何其他Zaber产品链接。设备上方便锁定的4针M8连接器可实现产品之间轻松安全的连接。链也共享电源，因此多个X系列产品可以使用单个电源。