垂直外腔表面发射激光器(Vertical External-cavity Surface-emitting Lasers)

更新时间:2023-11-10 03:59:51.000Z

分类: 激光

简称: VECSEL

定义: 具有外部激光谐振腔的表面发射半导体激光器

垂直外腔表面发射激光器(Vertical External-cavity Surface-emitting Lasers) 详述

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目录

1. 诞生背景

垂直外腔表面发射激光器(Vertical External-cavity Surface-emitting Lasers,简称VECSELs)是一种具有外部激光谐振腔的表面发射半导体激光器。其诞生背景主要是为了解决传统半导体激光器功率密度高、发热问题严重、波长调谐范围窄等问题。VECSELs的出现,不仅提供了一种新的高功率、高效率、波长可调的激光源,也为光电子器件的研究和应用开辟了新的领域。

2. 相关理论或原理

VECSELs的工作原理主要包括两部分:半导体增益介质和外部谐振腔。半导体增益介质是由多层量子阱和量子阱之间的势垒层组成,通过电流注入或光泵浦产生增益。外部谐振腔则由半导体增益介质、空气和反射镜组成,通过调整反射镜的位置和角度,可以改变谐振腔的长度和模式,从而实现激光的输出波长和模式的调控。

3. 重要参数指标

VECSELs的重要参数指标主要包括输出功率、波长范围、模式质量和线宽等。其中,输出功率主要取决于半导体增益介质的设计和制备工艺,以及电流注入或光泵浦的效率;波长范围则取决于半导体材料的能带结构和量子阱的设计;模式质量和线宽则主要取决于外部谐振腔的设计和调控。

4. 应用

VECSELs因其高功率、高效率、波长可调的特性,被广泛应用于光通信、光存储、光刻、医疗、军事等领域。例如,在光通信中,VECSELs可以作为高速光调制器,提供高速、高功率的光信号;在光存储中,VECSELs可以作为高密度光存储设备的光源,提供高功率、短脉冲的光信号;在光刻中,VECSELs可以作为深紫外光刻机的光源,提供高功率、高分辨率的光束。

5. 分类

根据激励方式,VECSELs可以分为电流注入型和光泵浦型两种。电流注入型VECSELs通过电流注入半导体增益介质产生增益,其优点是结构简单、效率高,但是发热问题严重;光泵浦型VECSELs通过光泵浦半导体增益介质产生增益,其优点是发热问题较小,但是效率较低。

6. 未来发展趋势

随着半导体材料和制备工艺的发展,VECSELs的输出功率和效率将进一步提高,波长范围将进一步扩大,模式质量和线宽将进一步提高。此外,VECSELs的应用领域也将进一步扩大,例如在量子信息处理、生物医学成像等新兴领域有着广阔的应用前景。

7. 相关产品及生产商

目前,市场上主要的VECSELs产品包括Coherent公司的V-GEN系列、M Squared Lasers公司的SolsTiS系列等。这些产品不仅提供了高功率、高效率、波长可调的激光源,也提供了完善的软件控制和硬件接口,满足了各种应用需求。

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