激光微加工(Laser Micromachining)

更新时间:2023-11-10 10:16:30.000Z

分类: 激光材料加工

简称: LBMM = laser beam micro-machining

别名: laser beam micromachining, laser micro-machining

定义: 用激光辐射在微米级的范围内进行加工

激光微加工(Laser Micromachining) 详述

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目录

1. 激光微加工的诞生背景

激光微加工技术是随着微电子技术、微机械技术、微光学技术等微纳米技术的发展而诞生的一种新型加工技术。它是利用激光束的高能量密度和良好的方向性,通过聚焦后在微米级的范围内进行加工,实现微小部件的精密加工。由于激光微加工技术具有无接触、无力、无热影响区、高精度、高效率等优点,因此在微电子、微机械、微光学等领域得到了广泛的应用。

2. 激光微加工的相关理论或原理

激光微加工的基本原理是利用激光束的高能量密度和良好的方向性,通过聚焦后在微米级的范围内进行加工。激光束经过聚焦后,能量密度极高,可以瞬间将材料加热到蒸发温度,产生高压蒸汽,推动材料迅速膨胀,形成微小的孔洞。这就是激光微加工的基本过程。

在激光微加工过程中,激光束的能量密度和聚焦精度是两个重要的参数。能量密度决定了激光微加工的加工深度和加工速度,聚焦精度决定了激光微加工的加工精度和加工质量。因此,要实现高精度、高效率的激光微加工,必须对激光束的能量密度和聚焦精度进行精确控制。

3. 激光微加工的应用

激光微加工技术在微电子、微机械、微光学等领域有着广泛的应用。在微电子领域,激光微加工技术可以用于制作微型电子元件,如微型电容、微型电阻、微型电感等。在微机械领域,激光微加工技术可以用于制作微型齿轮、微型轴承、微型马达等。在微光学领域,激光微加工技术可以用于制作微型透镜、微型光栅、微型光纤等。

此外,激光微加工技术还在生物医学、材料科学、能源科技等领域有着广泛的应用。例如,在生物医学领域,激光微加工技术可以用于制作微型生物芯片、微型药物输送系统等。在材料科学领域,激光微加工技术可以用于制作微型材料测试样品、微型材料表面处理等。在能源科技领域,激光微加工技术可以用于制作微型太阳能电池、微型燃料电池等。

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