2014年的诺贝尔化学奖是由于超分辨荧光显微镜的发展而获得的。受到这项工作的启发,上海科技大学光子芯片研究所的科学家们开发了一种创新的激光划片途径,用于制造超细石墨烯图案。
GT45A
更新时间:2024-04-24 11:49:28
GT45A概述
GT45A是一款基于先进的ArF浸没式光刻光源GT65A平台,具备高功能扩展性的机型。 通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术,可以在提高生产率的同时,减轻环境负荷。 通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、最高可达90W的高输出功率,满足客户的多样化需求。
GT45A参数
- 波长 / Wavelength : 193 nm
- 功率 / Power : 45-90 W
GT45A详述
特色
延长模块寿命
标配GT65A引入且经过验证的模块寿命延长技术。有助于降低维护频率,提高生产率。
高功能扩展性
可以搭载GT65A可使用的功能和技术。
- 通过提高光谱宽度稳定性来改善CD均匀性
- 通过光谱宽度可变技术校正不同世代曝光机的对比度性能差异
- 通过发射频率6kHz和最高可达90W的高输出功率,进一步提高生产率(吞吐量)
- 基于sMonitoring的数据采集、监测及分析
主要规格
规格项目 | 值* |
---|---|
发射波长 | 193 nm |
平均输出功率 | 45 – 90 W |
脉冲能量 | 11.25 – 15 mJ |
发射频率 | 4,000 – 6,000 Hz |
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95,) | ≤0.5 pm |
(*) 上述各规格值为代表值
GT45A规格书
GT45A厂家介绍
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