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GT45A 激光器模块和系统

GT45A

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日本
厂家:Gigaphoton

更新时间:2024-04-24 11:49:28

型号: GT45A采用GT65A先进技术、通过高功能扩展性进一步提高生产率(晶圆输出)

GT45A概述

GT45A是一款基于先进的ArF浸没式光刻光源GT65A平台,具备高功能扩展性的机型。 通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术,可以在提高生产率的同时,减轻环境负荷。 通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、最高可达90W的高输出功率,满足客户的多样化需求。

GT45A参数

  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 功率 / Power : 45-90 W

GT45A详述

特色

延长模块寿命

标配GT65A引入且经过验证的模块寿命延长技术。有助于降低维护频率,提高生产率。

高功能扩展性

可以搭载GT65A可使用的功能和技术。

  • 通过提高光谱宽度稳定性来改善CD均匀性
  • 通过光谱宽度可变技术校正不同世代曝光机的对比度性能差异
  • 通过发射频率6kHz和最高可达90W的高输出功率,进一步提高生产率(吞吐量)
  • 基于sMonitoring的数据采集、监测及分析

 

主要规格

规格项目*
发射波长193 nm
平均输出功率45 – 90 W
脉冲能量11.25 – 15 mJ
发射频率4,000 – 6,000 Hz
光谱幅度(以 95 %能量累计,E95,)≤0.5 pm

(*) 上述各规格值为代表值

GT45A规格书

GT45A厂家介绍

Gigaphoton Inc.是一家相对年轻的公司,成立于2000年,旨在整合小松公司在激光技术开发方面的多年经验和成就。

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