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XLR 900ix 激光器模块和系统

XLR 900ix

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美国
厂家:Cymer

更新时间:2024-04-19 14:40:59

型号: XLR 900ix

概述

XLR 900ix 引入了新的斑点减少技术,可将斑点对比度降低 30%,显著改善局部 CDU。它还提高了生产率,降低了拥有成本,使服务间隔时间延长了 25%,每年只需进行一次触摸。这得益于赛默公司经过现场测试的新型体和光学模块,这些模块已在 140 多套 XLR 系统中投入生产。该系统还采用了新的机器学习技术,通过减少校准和气体刷新事件来提高可用性,同时通过降低功耗和气体消耗来实现可持续发展。

参数

  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 功率 / Power : 60-90 W

详述

其他参数

ChamberDual Ring

Bandwidth ControlDynaPulse™ 2

规格书

厂家介绍

赛默公司是领先的准分子光源供应商,提供对当今半导体市场至关重要的深紫外(DUV)光刻光源。Cymer 光源以其高度窄化的带宽、更高的处理速度和可靠性而著称,是半导体行业实现当今先进半导体芯片批量生产的精确规格和制造要求的关键技术。

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