PhaseCam SWIR

波长: 632.8 nm

普惠测量系统公司（Pratt&Whitney Measurement Systems）的LMS200是一种激光干涉仪，通过将测量探头位置与632.8nm红色氦氖激光光源的波长进行比较来测量内部和外部尺寸。该专利激光路径与测量轴一致，消除了阿贝误差。它有一个花岗岩底座，其热膨胀系数比钢小十倍以上，使该干涉仪成为高度稳定的测量源。该干涉仪的精度为0.05+0.5Lµm，重复性为0.04µm.它的测量范围高达200 mm，直接读数范围为200 mm.LMS200干涉仪有一个碳化钨平板（1/10波）测量探头，带有Ø0.25金刚石尖端。探头是电动和远程控制的，以提高系统稳定性并消除操作员的影响。它可以测量最大尺寸为293 X 203 mm的样品，并具有14克的探针接触力。该干涉仪具有两步校准功能，这是一种先进的省时功能，允许使用两个实验室级别的可追踪量块进行校准，从开始到结束仅需30秒。它可以在直接读取或比较器模式下工作，并具有可编程自动循环功能，支持用户定义的恒定吞吐速率。该干涉仪根据命令存储所有测量结果的总和，并可显示统计数据，指示计算的平均值和一个标准偏差。LMS200需要110/120至220/240 V的交流电源，并消耗1-2 A的电流。它采用尺寸为56 X 41 X 79 cm的封装，非常适合测量球/球体、磁带/磁盘基板、光学元件、聚乙烯薄膜、量块/滑规、涂层厚度标准、塞规和销规、丝线、薄膜厚度、量块堆叠、网格厚度、纺织品和精密零件。

是德科技（Keysight Technologies）的E1715A是一款专为现代激光计量系统设计的3轴干涉仪。它基于Keysight先进的单片光学设计技术，具有高指向稳定性。该干涉仪集成了带有ST连接器的远程传感器，无需单独安装远程传感器。它的光学分辨率为λ/4，采用平面镜，输出效率为18%。该干涉仪产生直径为4 mm的光束，平行角小于25μrad（轴1-2和轴1-3），并且相对于加工基准具有出色的光束角精度。除标准配置外，E1715A还有三个可选版本-一个不包括远程传感器，一个包括输入弯折镜，第三个版本结合了这两个选项。它采用紧凑的不锈钢外壳，尺寸为68 X 55 X 44 mm，输出耦合到400微米塑料或玻璃光纤，配有ST连接器，NA为0.39。

波长: 1250 to 1350 nm探测器类型: PIN

Thorlabs Inc的INT-MSI-1300是波长为1250至1350 nm的干涉仪。有关INT-MSI-1300的更多详细信息，请参阅下文。

波长: 2650 to 3000 nm

Toptica Photonics的FPI-100-2800-1是一种干涉仪，自由光谱范围（FSR）为1 GHz，波长为2650至3000 nm.有关FPI-100-2800-1的更多详细信息，请参阅下文。