32-071-000

波长范围: 187 - 200 nm

这些高性能反射镜旨在用于基于ARF准分子激光器的应用和系统中的通用光束控制任务。

Mirrorcle Technologies公司的无万向架双轴扫描MEMS反射镜装置基于专有的ARI-MEMS制造技术，该技术较初是通过加州伯克利的亚得里亚海研究所（“ARI”）的研究项目开发的。它们在两个轴上提供非常快速的光束转向，同时需要超低功耗。反射镜将激光束或图像偏转到每个轴上高达32°的光学扫描角度（点对点或准静态模式）以及谐振模式中的更高角度。与体积庞大的基于检流计的光学扫描仪相比，这些设备所需的驱动功率要小几个数量级：驱动反射镜倾斜旋转的静电致动器的连续全速操作消耗的功率小于1mW。Mirrorcle Technologies MEMS反射镜完全由单片单晶硅制成，具有出色的可重复性和可靠性。平坦、光滑的镜面涂有一层具有高宽带反射率的金属薄膜。较小和中等尺寸的反射镜被制造为硅MEMS芯片的集成部分，而较大的反射镜被粘合到致动器上，从而允许定制反射镜尺寸。

波长范围: 351 - 361 nm

激光线反射镜设计为45°或0°入射角。具有高抛光质量、低散射和高损伤阈值的特性，使介质反射器能够为Nd：YAG激光器提供完美的光束控制。

波长范围: 1064 - 1064 nm

这些激光反射镜设计用于特定波长激光应用，其中低波前失真、低散射和高反射率通常是重要的。这些窄带反射器适用于多种波长和尺寸。

波长范围: 250 to 600 nm

MKS|Newport的20DC1000AL.2是一种光学反射镜，波长范围为250至600 nm，反射镜厚度为0.38英寸。（9.65毫米），镜面直径2.00英寸（50.8毫米）。有关20DC1000AL.2的更多详细信息，请参阅下文。