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ATLEX 300 I 激光器模块和系统

ATLEX 300 I

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更新时间:2023-02-07 15:08:56

型号: ATLEX 300 IA new generation of compact air-cooled, high repetition rate excimer lasers, designed for low- and mid-range duty cycle applications

概述

来自ATL Lasertechnik的ATLEX 300 I是波长为157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351 nm的激光器,功率为0.2至4 W,输出功率(脉冲)为0.2至4 W,脉冲能量为1至15 MJ.ATLEX 300 L的更多细节可以在下面看到。

参数

  • 类型 / Type : Laser System
  • 技术 / Technology : Solid State Laser, Gas Laser, Excimer Laser
  • 工作模式 / Operation Mode : Pulsed Laser
  • 超快激光 / Ultrafast Laser : Nanosecond Lasers
  • 可调谐 / Tunable : No
  • 激光颜色 / Laser Color : Ultraviolet
  • 功率 / Power : 0.2 to 4 W
  • 脉冲能量 / Pulse Energy : 1 to 15 mJ
  • 增益介质类型 / Gain Medium Type : Gas
  • 激光增益介质 / Laser Gain Medium : F2, ArF, KrF, XeCl, XeF
  • 应用行业 / Application Industry : Semiconductors & Microelectronics, Industrial (Material Processing), Medical, Scientific
  • RoHS / RoHS : Yes

规格书

厂家介绍

ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年,并于1994年开发出世界上先进台紧凑型、高重复率、短脉冲准分子激光器,在紫外激光技术领域取得了突破性进展。ATL通过几代产品改进了这一革命性的概念,如今,ATLEX产品系列以其专利的预电离和放电技术引领世界。ATL继续开发紧凑型短脉冲准分子激光器,并保持该领域的技术领先地位。

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