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GT63A 激光器模块和系统

GT63A

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日本
厂家:Gigaphoton

更新时间:2024-04-25 14:36:02

型号: GT63ANext-Generation ArF Excimer Laser, Model GT63A: Designed for Multi-Patterning Immersion Lithography Scanners

概述

来自Gigaphoton的GT63A是波长为193nm、功率为60至90W、脉冲能量为10至15mJ的激光器。有关GT63A的更多详细信息,

参数

  • 类型 / Type : Laser System
  • 技术 / Technology : Excimer laser
  • 工作模式 / Operation Mode : Pulsed Laser
  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 可调谐 / Tunable : No
  • 激光颜色 / Laser Color : Ultraviolet
  • 功率 / Power : 60 to 90 W
  • 增益介质类型 / Gain Medium Type : Gas
  • 激光增益介质 / Laser Gain Medium : Argon fluoride (Arf)

规格书

厂家介绍

Gigaphoton Inc.是一家相对年轻的公司,成立于2000年,旨在整合小松公司在激光技术开发方面的多年经验和成就。

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