L660503FX

用于0.13µm设计规则的2 kHz KrF准分子激光器

波长: 532nm

Bright System的MicroMake是一款集成的紧凑型激光微加工单元，用于高精度和高分辨率的激光微加工应用。该系统在单个单片元件中包括用于直接激光微处理的所有所需设备。在所有工艺阶段都提供样品的实时显微镜成像，以进行对准和即时质量检查。这种紧凑型系统的典型应用包括受控烧蚀、微钻孔、精密切割、选择性去除和直接3D微加工。所有这些特征完美地适用于在微电子电路和显示器制造和校正、生物医学装置加工、光学衬底微处理等领域中使用的多种材料。

波长: 375 nm

LaserGlow Technologies的J371503FX是一款波长为375 nm、功率为150 MW、工作温度为10至35摄氏度、存储温度为-10至50摄氏度的激光器。有关J371503FX的更多详细信息，请参见下文。

Opelus Technology Corporation的L90-XXX-XX-XX是一款波长为405、635、650、680、780、808、830、850、980 nm的激光器，功率为1至50 MW，输出功率（CW）为1至50 MW，存储温度为-40至80摄氏度。L90-XXX-XX-XX的更多详细信息可在下面查看。

波长: 1064 nm

Optosystems的DPSSL-50-1064是一款波长为1064 nm、功率为45至50 W、输出功率（脉冲）为5 W、输出功率（连续波）为5 W、工作温度为15至30摄氏度的激光器。有关DPSSL-50-1064的更多详细信息，请参见下文。