D6E0001FX

波长: 660 nm

来自Photontec Berlin的MRL-N-660是波长为660 nm、功率为0.5至0.8 W、输出功率（CW）为0.5至0.8 W的激光器。有关MRL-N-660的更多详细信息，请参见下文。

波长: 665 to 675 nm

来自Sacher Lasertechnik的TEC-100-0670-010是一种波长为665至675 nm、功率为10 MW、输出功率（CW）为10 MW的激光器。有关TEC-100-0670-010的更多详细信息，请参阅下文。

波长: 532 nm

LaserGlow Technologies的L530303FX是一款波长为532 nm、功率为30 MW、输出功率（CW）为30 MW、工作温度为10至35摄氏度、存储温度为-10至50摄氏度的激光器。有关L530303FX的更多详细信息，请参见下文。

波长: 1060 to 1565 nm

来自NKT Photonics的Koheras Adjustik HP是一种波长为1060至1565 nm、功率为0.2至2 W、工作温度为15至55摄氏度、存储温度为-20至60摄氏度的激光器。Koheras Adjustik HP的更多详细信息可在下面查看。

波长: 248 nm

KrF光刻光源G60K以继承Gigaphoton多年技术和积累经验的KrF光源技术为基础，支持超过300片/h的光刻机处理速度，通过输出功率达到以往产品的150%，并将模块寿命延长到最高200%，为改善可用性提供帮助。G60K还兼具扩展性，通过新开发的电源和模块来支持未来高输出、高频率等性能改进，满足对未来KrF曝光技术的要求。还标配无氦技术，有助于减少气体的消耗量。