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下载规格书 传统上，高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用，形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而，传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性，如干涉光刻。
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Yb CALGO激光晶体概述
用于高功率和超短（飞秒）激光的Yb：CaGdAlO4（Yb：CaMgO）-Yb掺杂晶体Yb掺杂的CaGdAlO4晶体（Yb：CaMgO）在产生高功率超短激光脉冲方面表现出优异的性能。它具有宽而平滑的发射带宽，可以产生非常短的脉冲（<100fs）。此外，其高热导率使其能够保持高功率泵浦（2at.%Yb：Calgo热导率沿a和c轴分别为6.9和6.3Wk-1m-1）；已经演示了极短脉冲和高平均功率飞秒振荡器的产生。Yb3+：CaGdAlO4较近被证明对于发展二极管泵浦的短脉冲锁模激光器非常有意义。与钛宝石晶体（自90年代初以来，使用啁啾脉冲放大技术开发产生非常短和强大脉冲的超短激光系统的选择）相比，Yb：CaLGO可以由非常高效和高功率的半导体激光器直接泵浦。（绿色激光泵浦的钛宝石晶体）。
Yb CALGO激光晶体参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : TeO2
- 水晶直径 / Crystal Diameter: : 5mm
- 水晶长度 / Crystal Length: : 15mm
- AR 涂层 / AR Coating: : One side
Yb CALGO激光晶体图片集
Yb CALGO激光晶体规格书
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图片名称分类制造商参数描述
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激光材料公司生产Nd：YAG晶棒、激光预制棒和预制板。我们位于华盛顿州温哥华的晶体生长工厂专门生产大直径晶棒（目前为Ø82 mm），长度可达250 mm，同时保持可接受的钕浓度水平。作为一名晶体种植者，我们专注于开发和改进晶体生长工艺，以获得高产量和始终如一的高材料质量。纯净的原材料、精确的配方和严格的生长控制是我们运营的基石。
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Nd：YAG晶体是目前应用较广泛的固体激光材料。在微小型二极管泵浦固体激光系统中，Nd：YAG晶体的蓝光输出比Nd：YVO4晶体的蓝光输出具有更高的效率和更容易实现的优点，可以获得高质量的红、绿、蓝激光输出。
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掺钛蓝宝石（Ti3+：Sapphire）作为一种光泵浦的固体激光晶体，被广泛应用于波长可调谐激光器中，其调谐范围为650-1100nm，峰值波长为800nm，是目前波长较宽的可调谐激光晶体之一。钛宝石的高能态寿命很短，只有3.2ms，由于饱和功率很高，很难用灯、氩离子激光器或倍频Nd：YAG激光器等来泵浦。通常是适应的。利用自锁模技术，钛宝石激光器可以直接输出脉宽为6.5fs的激光脉冲，这是所有直接从谐振腔输出的激光脉冲中较窄的。通过倍频技术，激光束的波长可以覆盖从蓝光到深紫外的宽波段，产生的193nm激光已用于光刻机。
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