传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
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拓达公司的YAG+Cr4+:YAG扩散粘结晶体概述
拓达公司的YAG+Cr4+:YAG扩散粘结晶体参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : Cr:YAG, Other
- 水晶长度 / Crystal Length: : 50mm
- AR 涂层 / AR Coating: : One side, Both sides
拓达公司的YAG+Cr4+:YAG扩散粘结晶体规格书
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钇铝氧化物YAlO3(YAP)是一种具有吸引力的铒离子激光基质,这是由于其自然双折射与类似于YAG的良好热和机械性能相结合。具有高掺杂浓度的Er3+离子的Er:YAP晶体通常用于2.73微米的激光发射。低掺杂Er:YAP激光晶体用于1.66微米的人眼安全辐射,通过1.5微米的半导体激光二极管进行带内泵浦。这种方案优点是对应于低量子亏损的低热负荷。
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Nd:YAG(掺钕的钇铝石榴石;Nd:Y3Al5O12)是用作固体激光器的激光介质的晶体。在钇铝石榴石(YAG)的晶体结构中,掺杂剂(三重离子化的钕)通常取代钇,因为它们具有相似的尺寸。通常,晶体基质掺杂有约1%原子百分比的钕。
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掺钕钇铝石榴石-Nd:YAG激光晶体是固体激光器较常用的激射介质。良好的荧光寿命、热导率和稳定性使Nd:YAG激光晶体适用于高功率连续波、高强度调Q和单模操作。
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- YLF(Unioriental)激光晶体Unioriental Optics
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