超薄电动线性平台 - PG430（集成直线球导轨）

如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项，请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。Zaber的X-LRQ-SV2系列设备是高真空、计算机控制、电动线性平台，具有高刚度、高负载和高寿命能力，尺寸紧凑。它们是独立的装置，只需要标准的24 V或48 V电源。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口，并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源，使多个X系列产品可以共享一个电源。这些真空级高度仅为36 mm，非常适合需要低轮廓的应用。X-LRQ-SV2的创新设计允许速度高达205 mm/s，负载高达100 kg。与Zaber的所有产品一样，X-LRQ-SV2系列采用“即插即用”设计，非常易于设置和操作。这些载物台可以用螺栓固定在XY系统中。

旋转电动Micromini™载物台。

Motion X Corporation的MX-POFS系列精密开放式框架载物台范围从标准到超高精度，并提供较高的精度、俯仰、偏航、滚动、刚度、平直度、可重复性、负载能力、移动和稳定时间。我们的MX-POFS系列精密开放式框架平台提供交叉滚柱轴承或空气轴承配置。提供多种编码器输出和分辨率。所有MX-POFS系列精密开放式框架载物台均配有可选的行程限位开关、编码器主参考标记/开关，以及线性电机驱动或无刷/有刷/步进电机和丝杠/滚珠丝杠驱动配置。Motion X Corporation的MX-POFS系列精密开放式框架载物台的性能、灵活性和价格在开放式框架载物台市场上是无与伦比的，我们邀请您联系我们的销售部门，了解有关Motion X Corporation的MX-POFS系列精密开放式框架载物台的更多信息。

设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

长行程电动线性平台8MT295系列平台设计用于提供高速运动。标准电机允许移动高达60公斤的负载。使用功率更大的电机可以提高负载能力。该级提供中等分辨率和精度。8MT295系列载物台配有3P295平台、3BP295底板（2块）和适量的3SN195嵌件。8MT295系列工作台的分辨率和速度可以通过选择合适的滚珠丝杠节距来改变。有几个标准选项可供选择，应在订购时指定。