QNP3-100XYAZ-030-10 三轴、平行运动学、XYZ压电纳米定位平台概述
设计特点移动到240μm X 240μm X 25μm高达66 mm X 66 mm的大方形通光孔径通过并联运动设计实现卓越的多轴精度高刚度和高动态性能,从而实现高工艺产量高精度、无摩擦挠曲引导正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度,提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNP3系列XYZ并联运动压电定位平台在紧凑的扁平封装中结合了亚纳米分辨率、高动态性能和出色的几何性能。QNP3系列压电级标配大通光孔径,闭环行程高达200µm X 200µm X 20µm(开环行程高达240µm X 240µm X 25µm)。该设计是光学和扫描探针显微镜或其他检测或制造应用的理想选择,在这些应用中,需要通过三个自由度操作进行双面零件访问。精密平行运动设计QNP3压电级采用平行运动挠曲和计量设计,确保较高水平的多轴精度。QNP3级采用经过FEA优化的精密挠性件,可确保高刚度和长器件寿命,提供同类较佳的刚度和谐振频率,从而实现高工艺产量和快速闭环响应。使用正在申请专利的驱动器设计,X和Y偏航误差被较小化,同时仍然保持符合阿贝标准的计量系统。这种设计在整个XY行程空间内实现了无与伦比的定位性能。Z轴致动器和电容传感器被设计为在垂直方向上以较小的几何误差提供符合阿贝标准的反馈。亚纳米性能所有QNP3压电级均提供闭环反馈(-C)或开环(无反馈)。独特的电容式传感器并行计量设计可测量定位托架的输出,直接实现亚纳米分辨率、低于0.01%的线性误差和个位数纳米可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时,QNP3平台展示了亚纳米定位分辨率、定位稳定性(抖动)和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具,如学习控制、谐波消除和命令整形,从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。还提供OEM驱动器选项。Aerotech的控制器架构可轻松实现压电级、伺服系统、步进器和检流计之间的高速、紧密控制的协调运动。设计选项可选的安装板提供直接安装英制或公制试验板光学表。还提供了一个坚固的桌面选项。QNP3压电级可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
QNP3-100XYAZ-030-10 三轴、平行运动学、XYZ压电纳米定位平台参数
- 运动轴 / Axes Of Motion: : Three
- 旅行范围 / Travel Range: : 0.03mm
- 负载能力 / Load Capacity (Horizontal): : 1kg
QNP3-100XYAZ-030-10 三轴、平行运动学、XYZ压电纳米定位平台规格书
QNP3-100XYAZ-030-10 三轴、平行运动学、XYZ压电纳米定位平台厂家介绍
相关内容
相关产品
- High Vacuum Motorized Linear Stage X-LRQ600BL-SV2电动台Zaber Technologies - Vancouver, BC
如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项,请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。Zaber的X-LRQ-SV2系列设备是高真空、计算机控制、电动线性平台,具有高刚度、高负载和高寿命能力,尺寸紧凑。它们是独立的装置,只需要标准的24 V或48 V电源。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口,并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。这些真空级高度仅为36 mm,非常适合需要低轮廓的应用。X-LRQ-SV2的创新设计允许速度高达205 mm/s,负载高达100 kg。与Zaber的所有产品一样,X-LRQ-SV2系列采用“即插即用”设计,非常易于设置和操作。这些载物台可以用螺栓固定在XY系统中。
- Miniature Linear Stage MMX-25电动台Dover Motion
Dover Motion MMX系列微型线性舞台集先进性能、可靠性和价值于一身。高功率MMX具有更高的力密度,可提供5倍于同类竞争产品的力。舞台设计采用高精度防爬行交叉滚柱导轨,在扁平封装中实现极其平稳的运动、高刚度和可靠性。其无刷线性伺服电机可实现高速运行,无需维护,非常适合用于高吞吐量应用。微型线性平台可以组合成多轴组件,包括具有整体恒力磁性平衡的Z配置。对于25 mm旅行版本,可使用单相电机,以降低放大器成本,降低复杂性,并获得更紧凑的尺寸。MMX有一个完全无铁的电机,以提供无齿轮的平滑运动。微型线性平台还使用简单的可调支架提供外部可调限位传感器。舞台采用黑色阳极氧化铝表面处理。
- Sinemotion Rotary Stage φ40 - KRB04017C (Ball Screw)电动台SURUGA SEIKI
Suruga Seiki Sinemotion电动旋转台非常适合需要良好精度和相对较大范围的应用。这些电动旋转台在激光光学、光谱学、显微镜和计量应用中特别受欢迎。无论您是在研发或工业环境中工作,还是为您的运动控制应用寻找OEM解决方案,骏河精机都能为您的应用提供合适的解决方案。我们的产品在日本制造,并经过严格的质量控制,以满足客户的需求。
- STANDA 8MT295X-540-4 Long-Travel Motorized Linear Stages电动台Altos Photonics, Inc.
长行程电动线性平台8MT295系列平台设计用于提供高速运动。标准电机允许移动高达60公斤的负载。使用功率更大的电机可以提高负载能力。该级提供中等分辨率和精度。8MT295系列载物台配有3P295平台、3BP295底板(2块)和适量的3SN195嵌件。8MT295系列工作台的分辨率和速度可以通过选择合适的滚珠丝杠节距来改变。有几个标准选项可供选择,应在订购时指定。
- Zaber Technologies - Motorized Rotary Stage with Built-in Controller - X-RSW电动台Zaber Technologies - Vancouver, BC
ZABER的X-RSW系列产品是内置控制器的电动旋转舞台设备。额定扭矩为2.25 N-m,是高精度角度定位应用的理想选择。它们是独立的装置,只需要标准的24-48 V电源。索引旋钮可在两个方向上以可变速度提供平滑的手动控制,即使在没有计算机的情况下也可进行多功能操作。按住可在速度模式和位置模式之间切换,转动可移动载物台,按下可停止。该级连接到任何计算机的USB 2.0或RS-232端口,并且每个链可以链接多个单元。它们可以与任何其他Zaber产品链接。设备上方便锁定的4针M8连接器可实现产品之间轻松安全的连接。链也共享电源,因此多个X系列产品可以使用单个电源。
相关文章