传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
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周期性极化铌酸锂(PPLN)晶体概述
周期性极化铌酸锂(PPLN)晶体参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : LiNbO3 (Lithium Niobate)
- 宽度 / Width: : 9mm
- 高度 / Height: : 9mm
- 长度 / Length: : 5mm
- 平整度 / Flatness: : <= Lambda/8
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 20-10
- AR 涂层 / AR Coating: : Both Sides
周期性极化铌酸锂(PPLN)晶体图片集
周期性极化铌酸锂(PPLN)晶体规格书
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图片名称分类制造商参数描述
- Cross Polarized Light Generation Crystal - BaF2 - 540-7115 Series晶体Altos Photonics, Inc.
交叉极化波(XPW)的产生是一个三阶非线性过程,在这个过程中,基波和产生的波具有相同的频率。然而,所产生的波与泵浦波偏振垂直偏振。在XPW产生过程中,相位匹配发生在大带宽上。这意味着基波和XPW具有相同的相速度和群速度。交叉偏振波(XPW)的产生过程是由晶体的三阶非线性和张量的各向异性驱动的。用于交叉偏振波(XPW)产生的典型光学材料是具有Z(-#91;001-#93;)或全息(-#91;011-#93;)晶体取向的氟化钡(BaF2)晶体。理论预测,当使用-#91;011-#93;-切割BaF2晶体时,较大XPW能量转换效率约为35%,伴随的脉冲缩短因子为√3,对应于纯三阶非线性过程。
- EKSMA Lithium Triborate Crystal LBO - 402晶体Altos Photonics, Inc.
LBO非常适合于各种非线性光学应用:高峰值功率脉冲掺钕、钛宝石和染料激光器的倍频和三倍频;类型1和类型2相位匹配的光参量振荡器(OPO)连续和准连续辐射频率变换的非临界相位匹配
- EKSMA Lithium Triborate Crystal LBO - 408晶体Altos Photonics, Inc.
LBO非常适合于各种非线性光学应用:高峰值功率脉冲掺钕、钛宝石和染料激光器的倍频和三倍频;类型1和类型2相位匹配的光参量振荡器(OPO)连续和准连续辐射频率变换的非临界相位匹配
- Nonlinear crystals--BBO晶体DIEN TECH
BBO晶体是一种新型的紫外倍频晶体。
- Potassium Titanyl Phosphate Crystals KTP - 401晶体Altos Photonics, Inc.
KTP(KTiOPO4)是一种非线性光学晶体,具有优良的非线性、电光和声光特性。高的非线性系数、宽的透明范围、宽的角度和热接受度的组合使得KTP在不同的非线性光学和波导应用中非常有吸引力。
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