奥普斯联合印刷公司

EUV光刻机面临的较大问题是解决RLS权衡：同时提高分辨率、线宽粗糙度（LWR）和光敏性。AL412旋涂辅助层材料已经显示出降低线边缘粗糙度（LER）和图案塌陷、平坦化形貌、保护下面的层免受高能EUV光子损伤、改善粘附性以及改善图案转移蚀刻选择性。

Lattice Materials在加工极其复杂和具有挑战性的硅和锗零件方面被公认为世界做的较好的。我们专门开发的处理和加工技术有助于消除表面下的损伤和碎裂。我们拥有几台高质量的多轴数控立式铣床，专门用于加工原型或生产数量的复杂零件。只需单击“提交RFQ”按钮并附上您的CAD图纸。我们的销售工程师是根据这些图纸解释和创建报价的专家。有了Lattice，您的零件可以按指定到达并准备使用。

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描述玻璃-金属密封是容易的部分。生产一个好的需要知识和经验。凭借数十年的经验，我们熟练的工匠执行专业操作，如将面板或金属环密封到各种制造的真空管上。我们使用各种材料，包括几种类型的玻璃、可伐合金和陶瓷，生产用于激光器、红外系统、半导体和光电倍增管的元件。我们的生产人员包括拥有一系列玻璃吹制技能的玻璃吹制工。成形、成型、吹制、弯曲、模制和密封都包括在他们的剧目中。这些工艺可以在几种玻璃类型中进行。用可伐合金、钨和铂进行的玻璃-金属封接也很常见。我们的可伐氢烧成工艺保证了密封件的质量。通过设计，密封件可以是密封的或压缩的。具有不同膨胀系数的玻璃的分级密封也可以在一定的标准下密封在一起。窗户密封件通常由不同的材料制成而不会变形。可根据需要安装阳极、阴极和吸气剂。

光学涂层是沉积在诸如透镜或反射镜的光学部件上的一个或多个薄材料层，其改变光学部件反射和透射光的方式。一种类型的光学涂层是减反射涂层，其减少来自表面的不需要的反射，并且通常用于眼镜和摄影镜头。另一种类型是高反射涂层，其可用于生产反射大于99.99%的落在其上的光的镜子。更复杂的光学涂层在某些波长范围内表现出高反射，而在另一范围内表现出抗反射，从而允许生产二向色薄膜滤光器。