Nano-OPH紧凑型压电纳米定位器概述
与Nano-OP系列一样,Nano-OPH系列是一组多功能紧凑型单轴压电纳米定位器,可配置为适合各种应用。通过平台增加一个直径为1.3英寸的孔,使纳米OPH在光学实验中的精确运动中特别有用。单独的单轴级可以组合以形成多轴系统。Nano-OPH系列可提供30、50和100微米的运动范围。它们可以由铝、殷钢或钛制成,并且可以定制以满足独特的要求。内部位置传感器采用专有的PicoQ®技术,在闭环控制下以皮米分辨率提供绝对、可重复的位置测量。
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