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458型用于晶圆步进机的紫外线高强度和能量测量仪 激光能量计

458型用于晶圆步进机的紫外线高强度和能量测量仪

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美国
分类:激光能量计
厂家:OAI

更新时间:2024-04-19 14:40:59

型号:

概述

基于微处理器的458型UV光强度和能量系统精确地描绘曝光能量(剂量),以评估步进机的性能。它设计用于ASML高强度、佳能、尼康和Ultratech高强度晶片步进机。读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间(4000 MW/cm²,999.9 MJ/cm²)。可选的RS232电缆可与458软件配合使用,将剂量数据发送到计算机。

参数

  • 最大可测量能量 / Max Measurable Energy: : 9999mJ
  • 光谱范围 / Spectral Range: : 0.365 - 0.436 um

规格书

厂家介绍

当涉及到紫外线仪器和曝光系统时,人们已经依赖OAI超过35年了。我们的全球声誉是因为我们有足够的资源来设计和制造符合您具体规格的紫外线仪器和系统。我们为服务和客户支持设定了行业标准。对于个人和OEM批量需求,请立即致电,了解OAI如何帮助满足您较苛刻的UV需求。

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