传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
概述
MgF2是一种正单轴晶体,从真空紫外到红外都具有非常高的透光率。它还具有很强的抗机械和热冲击以及抗光辐射的能力,并且化学性质稳定,使其成为一种非常有用的紫外和红外光学材料。
参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : Other
- 传输范围 / Transmission Range: : 0.12 - 8.5 um
- 高度 / Height: : 25.4mm
- 宽度 / Width: : 25.4mm
- 厚度 / Thickness: : 1mm
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 10-5
- 表面平整度 / Surface Flatness: : <= Lambda/8
规格书
厂家介绍
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