传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
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铌酸锂 - Linbo3 晶体概述
铌酸锂 - Linbo3 晶体参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : LiNbO3 (Lithium Niobate)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Type I
- 安装 / Mounting: : Unmounted
- 宽度 / Width: : 6mm
- 高度 / Height: : 6mm
- 长度 / Length: : 15~25mm
- 平整度 / Flatness: : <= Lambda/8
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 20-10
- AR 涂层 / AR Coating: : Both Sides
铌酸锂 - Linbo3 晶体图片集
铌酸锂 - Linbo3 晶体规格书
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图片名称分类制造商参数描述
- Infrared Nonlinear Crystal - AgGaS2 (AGS)晶体DIEN TECH
AGS在0.50至13.2µm范围内透明。虽然其非线性光学系数是上述红外晶体中较低的,但在Nd:YAG激光泵浦的OPO中,利用了550nm的高短波长透过率边缘;在覆盖3–12µm范围的二极管、钛宝石、Nd:YAG和红外染料激光器的大量差频混频实验中;在直接红外对抗系统中,以及用于CO2激光器的SHG。薄的AgGaS2(AGS)晶体板是通过使用近红外波长脉冲的差频产生来产生中红外范围的超短脉冲的常用方法。
- KDP-401 Nonlinear Crystal晶体Altos Photonics, Inc.
KDP薄晶体用于钛宝石激光辐射的二次谐波产生或单次自相关器中的脉冲宽度测量。与BBO晶体相比,对于800nm的SHG,KDP具有约2.4倍的光谱接受度和相应较小的群速失配,这有时是飞秒宽光谱脉冲的关键参数。
- MDFG1-0.5-1Crystal 737-786nm + 1064nm晶体Covesion Ltd
MDFG1设计用于Nd:YAG激光器和可调谐钛蓝宝石(或类似)激光器的差频产生(DFG),用于2.4-3µm范围内的中红外产生。通过调节输入激光波长和改变PPLN温度,可以用每个PPLN光栅调节输出波长。
- Non-Linear Optics KTP OPO晶体Onyx Optics Inc
Onyx Optics,Inc.推出用于高效率和高光束质量非线性光学(NLO)频率转换的无粘合剂键合(AFB®)准非临界相位匹配(QNCPM)和准相位匹配(QPM)。AFB®QNCPM和QPM设备完全补偿了空间走离和扩大的角度接受度。与非临界相位匹配(NCPM)器件类似,它们对轻微的激光失准不敏感,但可以针对所有临界相位匹配(CPM)波长进行设计。因此,在需要高效率和高光束质量的情况下,AFB®QNCPM和QPM器件是当前CPM NLO器件的理想替代品。
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