传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
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概述
LIIO晶体碘酸锂单晶是一种工业应用较早的非线性晶体。具有较大的非线性系数、抗辐射损伤能力和较宽的透光范围。它在激光技术中可作为产生二次谐波和参量振荡的介质,在中小功率激光器中可作为二次、三次和混频频率,在航空航天、化工、冶金、石油等工业中可用来制作窄脉冲和宽带超声换能器,具有广阔的应用前景。
参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : LiIO3 (Lithium Iodate)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Not Applicable
- 安装 / Mounting: : Unmounted
- 宽度 / Width: : 3mm
- 高度 / Height: : 2mm
- 长度 / Length: : 5mm
- 平整度 / Flatness: : <= Lambda/8
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 40-20
- AR 涂层 / AR Coating: : Both Sides
规格书
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图片名称分类制造商参数描述
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