高真空电动线性平台X-LSM200A-SV2

Velmex Xslide是一款紧凑的定位平台，非常适合高性能增量或较小负载的扫描。其紧凑的设计使其成为有限空间应用的理想选择。由硬涂层阳极氧化，铝燕尾槽和平滑运动聚四氟乙烯轴承构成；与其他燕尾榫设计相比，Xslide具有更高的刚性，使用寿命更长，运动更精确。XSlides的负载能力为35磅。（15.9千克）水平和10磅。（4.5千克）垂直的。直线精度为0.003″/10（0.076 mm/25 cm）。车厢位于道路的外侧，设计更紧凑，更易于调整。Xslide的横截面尺寸为1.88″（48 mm）×1.22″（31 mm），有八种标准行程长度，从2″（50 mm）到30″（76.2 cm）。

Dover Motion MMS系列微型长行程线性载物台是一款高性能定位器，采用小型封装设计，非常适合保持仪器尺寸和降低成本。它的总高度为37毫米，将阿贝误差效应降至较低。非接触无铁伺服电机提供高的力量和稳定的速度，无齿槽效应。四个循环滚珠轴承托架用于确保平滑、稳定和精确的运动。MMS系列配备精密光学编码器，用于可重复的闭环定位。该级设计为无需维护的高速，使其非常适合用于高吞吐量应用。微型线性载物台可以堆叠到XY多轴组件中，或与我们的MMX系列组合用于堆叠XY设置，MMS用于长行程加载/卸载，MMX作为较短的行程轴，以减少整个系统的占用空间。

设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

设计特点闭环从10μm到40μm。直接驱动驱动可实现快速响应时间和更高的吞吐量过程高精度、无摩擦挠曲引导器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中提供了平台和致动器的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力，非常适合各种高速和高精度应用，如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快，精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构，可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下，QNPHD提供了高动态性能，同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能（平直度和角度误差）。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈（-C）选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置，而不需要设计各种适配器板和支架，这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。

TSA-B系列电动直线工作台采用方形导轨作为导向系统的核心部件。一套工业级滚珠丝杠和高质量弹性联轴器使该系列工作台具有高性能。一对机械限位开关（一个在右端，另一个在左端）和一个原点传感器都是保护工作台正常工作的必要部件。由于使用了标准的电气和机械接口，因此易于进行信号通信。客户可以使用连接到电机的手轮手动操作载物台。该系列产品提供标准安装孔，确保多轴舞台系统的轻松安装。这也使得与Zolix其他产品的结合变得更加容易。TSA-B系列较适用于重载和稳定运行的场景。