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G10K 1-kHz KrF准分子激光器 激光器模块和系统

G10K 1-kHz KrF准分子激光器

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日本
厂家:Gigaphoton Inc.

更新时间:2024-04-19 14:40:59

型号:

G10K 1-kHz KrF准分子激光器概述

稳定性和耐用性是准分子激光器较大的技术挑战,因为它使用氟、高压放电和深紫外线,所有这些都是高活性的。除了稳定性和耐用性外,用于光刻工具的准分子激光光源还需要激光束的高单色性和输出能量的高均匀性。作为世界上先进个满足所有这些要求的准分子激光光源,G10K自1997年上市以来,在光刻光源市场上赢得了极高的声誉。这一模式仍在世界各地的实地运作。

G10K 1-kHz KrF准分子激光器参数

  • 混合气体 / Gas Mixture: : KrF
  • 波长 / Wavelength: : 248 nm
  • 脉冲能源 / Pulse Energy: : 10mJ
  • 平均功率 / Average Power: : 10W
  • 最大重复率 / Max Repetition Rate: : 1000Hz

G10K 1-kHz KrF准分子激光器规格书

G10K 1-kHz KrF准分子激光器厂家介绍

2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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