传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
Cr4+:YAG晶体概述
Cr~(4+):YAG(Y_3Al_5O_(12))是实现Nd:YAG激光器被动调Q的理想材料,也是实现0.8~1.2mm波段其他掺Nd、Yb激光器调Q的理想材料。
Cr4+:YAG晶体规格书
Cr4+:YAG晶体厂家介绍
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三硼酸锂(LiB3O5)是较优秀的非线性光学晶体之一,具有高损伤阈值和非吸水性。
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铌酸锂(LiNbO3)晶体具有优良的电光特性,在光波导和光通信技术中得到了广泛的应用。是许多集成光电子器件的理想衬底材料。由于LiNbO3的电光系数较大,半波电压较低。LiNbO3晶体的电光效应常被用来调制光信号。电光调制分为纵向调制和横向调制,铌酸锂主要用于横向调制。在中低功率固体激光器中得到了广泛应用。
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化学计量的钽酸锂(SLT)优于共晶生长的钽酸锂(CLT),因为它更接近锂与钽的理想比例(50:50)。该改进的比率为晶体提供了低得多的缺陷密度,从而减少了光学损伤的机会并改进了UV透射率,同时具有更大的非线性和电光系数。当在准相位匹配应用中使用时,SLT在周期性极化过程中需要显著更少的电压,从而允许制造更厚的芯片。
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非线性晶体YCOB(YCa4O(BO3)3,氧硼酸钇钙)被认为是一种很有前途的紫外波段光学倍频器材料与YCOB相关的较新技术成果之一是通过二极管阵列端面泵浦Nd:YVO4激光器(P=5.6W)的腔内倍频,在1.2cm长的晶体(θ=64.5°,φ=35.5°)中产生了2.35W的连续绿光输出(λ=532nm)。另一个类似的应用是NdYVO4激光辐射的THG。使用KTP倍频晶体和1.1cm长的YCOB晶体(θ=106,φ=77.2),作者成功地获得了124mW的355nm准连续光(脉冲重复频率20kHz)。YCOB晶体是应用较广泛的非线性光学晶体之一。其非线性光学系数与BBO晶体和LBO晶体的非线性光学系数相当。二阶和三阶有效倍频系数分别达到KDP的2,8倍和1,4倍。YCOB晶体具有以下优点:大口径,飞秒范围内高损伤强度,约2000-2500GW/cm2,宽的允许角度范围和允许温度范围,小的色散角,较短的提拉法生长周期,同时具有稳定的物理化学性能(不潮解)和良好的加工性能。被认为具有良好的蓝绿光和紫外波段光学倍频晶体应用前景。
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