激光气体分析仪可进行高灵敏度和高选择性的气体检测。这种检测方法的多组分能力和宽动态范围有助于分析浓度范围较宽的混合气体。由于这种方法无需进行样品制备或预浓缩,因此易于在实验室或工业中采用。
概述
准分子激光器。
参数
- 混合气体 / Gas Mixture: : ArF, XeCl, KrF
- 波长 / Wavelength: : 193 nm, 308 nm, 248 nm
- 脉冲能源 / Pulse Energy: : 12-25mJ
- 平均功率 / Average Power: : 6-12.5W
- 最大重复率 / Max Repetition Rate: : 500Hz
- 脉宽 / Pulse Duration: : 10-12ns
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