传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
CASTECH--BBO 晶体概述
β-硼酸钡(β-BaB2O4或BBO),由中国科学院福建物质结构研究所(FIRSM,CAS)发现和开发,现由Castech Inc.生产和销售。Castech公司拥有BBO晶体生长的专业专利技术(助熔剂法),可稳定地提供高质量的晶棒。
CASTECH--BBO 晶体参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : BBO (Beta Barium Borate)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Type I, Type II
- 安装 / Mounting: : Mounted, Unmounted
- 宽度 / Width: : 15mm
- 高度 / Height: : 15mm
- 长度 / Length: : 15mm
- 平整度 / Flatness: : <= Lambda/8
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 10-5
- AR 涂层 / AR Coating: : One side, Both Sides
CASTECH--BBO 晶体规格书
CASTECH--BBO 晶体厂家介绍
自1988年成立以来,经过25年的快速发展,Castech Inc.(CASTECH)已成为全球公认的非线性光学晶体、激光晶体和精密光学元件的领先供应商。2008年,CASTECH在深圳证券交易所成功上市。(股票代码002222)今天,在我们450,000平方英尺的先进设施中,900多名员工致力于满足客户在性能和成本效益方面的需求。
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