红外光谱在纳米晶硅薄膜键合环境和结构特性研究中的应用-光电查

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红外光谱在纳米晶硅薄膜键合环境和结构特性研究中的应用

作者： Sucheta Juneja，Mansi Sharma，Sushil Kumar

机构： 印度理工学院德里分校，CSIR国家物理实验室

发布年份： 2018年

更新时间： 2025-04-03 11:19:52

关键词： 薄膜,气相沉积,纳米晶材料,拉曼光谱,X射线衍射,微结构

摘要：

红外光谱作为一种有效工具，用于研究纳米晶硅薄膜（nc-Si:H）中的板状氢键合配置。这些薄膜通过60 MHz辅助的非常高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）工艺在4到40 Pa的不同压力下沉积。研究表明，氢键合以板状配置（Si-H基团在2033 cm−1）存在于晶界处，形成了由富氢非晶组织包裹的晶粒，从而提供了良好的钝化效果，减少了晶界表面的悬挂键。研究还发现，在24 Pa的压力下，结构从非晶硅（a-Si:H）向纳米晶硅（nc-Si:H）相转变。沉积压力的增加显著提高了晶体化程度（约37%），表现为晶粒尺寸增大（约12 nm）、氢键合含量减少（约5.0%）、光学带隙拓宽（约1.9 eV）以及网络中聚合度的增强。

结论：

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实验方法及产品解析：

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图片名称分类制造商 PDF资料参数描述

法拉第旋转镜波分复用 (WDM) Phosctech Photonics ltd 光纤类型: NA SMF-28e+ 插入损耗: 0.3(典型);0.5(最大);0.7(典型);1.0(最大) 中心波长: 1310或1550
Primanex Faraday Rotator Mirror 是一种低插入损耗的光学组件，广泛应用于光纤传感和测试测量领域。
纤维镜波分复用 (WDM) Phosctech Photonics ltd
Fiber Mirror是一款低插入损耗的光纤镜，适用于光纤传感和测试与测量领域，具有卓越的稳定性和可靠性。
MagLight单通道EVOA 波分复用 (WDM) Phosctech Photonics ltd 调谐类型: Blocking When Power Off 工作波长范围: C-band 1525~1565 衰减范围: 25 dB
MagLight Single Channel EVOA是一款基于全固态技术的光电产品，适用于传感器系统和测试与测量，具有超快调谐速度和低功耗特性。
200G非热波长参考滤波器波分复用 (WDM) Phosctech Photonics ltd 波长范围: 1525~1565 偏振依赖损耗: 0.1 偏振依赖精度: +/- 0.1
200G Athermal Wavelength Reference Filter具有高波长稳定性，适用于FBG传感系统、系统监控等应用。
100G无热波长基准滤波器波分复用 (WDM) Phosctech Photonics ltd
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