200 MeV Ag15+离子束辐照对WO3薄膜的影响

作者: R. Rathika,M. Kovendhan,C. Venkateswaran,K. Asokan,S. Johnson Jeyakumar
机构: TBML学院物理系,仁荷大学环境工程系,国家技术学院物理系,海得拉巴大学物理学院
发布年份: 2019年
更新时间: 2025-04-03 11:19:52
关键词: WO3,辐照,拉曼光谱,间接带隙,霍尔效应
摘要:

通过喷雾沉积法制备了厚度为89 nm的三氧化钨(WO3)薄膜,并用200 MeV Ag15+离子束在不同的离子通量下进行辐照。研究发现,原始薄膜的X射线衍射图案为正交晶系,而辐照后的薄膜在不同的通量下变为非晶态,除了5 × 1012 ions/cm2的通量,这可能是由于辐照引起的再结晶效应。拉曼光谱显示,原始薄膜的拉曼模式与辐照后的WO3薄膜一致。拉曼峰的强度在5 × 1012 ions/cm2的通量下减小,并在更高的通量下完全消失。原始薄膜的光学透明度远高于辐照后的薄膜。直接和间接带隙均显示红移。原子力显微镜(AFM)数据揭示了辐照后表面发生了显著的变化。通过霍尔效应研究了原始和辐照薄膜的传输特性,发现随着通量的增加,电阻率降低。本文讨论了这些结果。

结论:
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实验方法及产品解析:
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