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概述
Aerotech的AGV5D五轴激光微加工进动扫描器是生成精确孔、轮廓槽和其他几何形状的最快、最灵活和最精确的解决方案。
参数
- 激光波长 / Laser Wavelength : 1030 nm, 1064 nm, 515 nm, 532 nm
- 最大激光脉冲能量 / Maximum Laser Pulse Energy : 400 µJ (λ = 1030 nm, 1064 nm), 350 µJ (λ = 515 nm, 532 nm)
- 最小激光脉冲长度 / Minimum Laser Pulse Length : 250 fs
- 平均功率 / Average Power : ≤ 100 W
- 目标焦距 / Objective Focal Length : 55 mm
- 最小聚焦光斑直径 / Minimum Focused Spot Diameter : 15 µm (λ = 1030 nm, 1064 nm), 7 µm (λ = 515 nm, 532 nm)
- 输入光束直径 / Input Beam Diameter : 2.3 mm推荐, 2.8 mm最大
- 轴数 / Axes : 5 total: Spot positioning (X,Y); Focusing (Z); Precession (A,B)
- 视场角 / Field Of View : Ø 2 mm
- Z焦距范围 / Z Focus Range : 2 mm (motorized), 4 mm (manual adjustment)
- 最大进动角度 / Maximum Precession Angle : ± 9° (18° full-cone angle)
- 定位分辨率 / Positioning Resolution : 40 nm (X,Y), 30 nm (Z)
- 定位重复性 / Positioning Repeatability : 0.1 µm (X,Y), 0.1 µm (Z)
- 孔径精度 / Hole Diameter Accuracy : < 0.2 µm
- 进动频率 / Precession Frequency : up to 800 Hz
- 最大聚焦速度 / Maximum Focusing Speed : 130 mm/s
- 清洗气体 / Purge Gas : Nitrogen, up to 5 psig
- 过程辅助气体 / Process Assist Gas : User selectable, up to 200 psig
- 驱动系统 / Drive System : Direct-Drive Brushless Motors
- 反馈 / Feedback : Noncontact Optical Encoders
- 最大总线电压 / Maximum Bus Voltage : ± 40 VDC
- 限位开关 / Limit Switches : Optical Limit Switches and Software Limits
- 归位开关 / Home Switch : At Center
应用
1. 医疗器械制造 2. 介入心血管植入物 3. 微电子加工 4. 探针卡 5. 微通孔 6. 汽车组件制造 7. 燃油喷射器喷嘴 8. 激光微加工系统
特征
1. 适用于多种商业飞秒激光 2. 生成极其精确的孔、槽和用户定义的几何形状 3. 用户友好的功能简化了与机器、系统或子系统的集成 4. 水冷和气冷特性确保长期稳定性和一致性能 5. 具有简单的G-code编程接口
详述
AGV5D五轴激光微加工进动扫描器是Aerotech公司推出的一款先进激光加工解决方案,专为满足高精度加工需求而设计。此设备通过五个自由度的光束操控,能够生成极为精确的孔、槽及复杂几何形状,广泛应用于医疗器械制造、微电子加工等多个领域。AGV5D的设计考虑了长期使用的耐久性,配备水冷和气冷系统,确保在高负荷工作情况下的稳定性能。此外,AGV5D还支持多种激光源的集成,用户可根据具体加工需求灵活选择激光类型。该设备的G-code编程接口使得用户能够自定义加工路径,提高了加工的灵活性和效率。总之,AGV5D是追求高精度激光加工用户的理想选择,能够有效提升生产效率及产品质量。
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厂家介绍
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