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ELS-7010 激光器模块和系统

ELS-7010

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美国
厂家:Cymer

更新时间:2024-06-05 17:57:23

型号: ELS-7010KrF:248 nm波长的光刻工具

概述

ELS-7010 是三维 NAND 等新型存储器架构的主要推动者之一,在生产物联网和汽车芯片的大部分层方面深受信赖。由于成本效益高,它还被用于全球大批量生产,为先进芯片的非关键层制版。Cymer 不断创新,推出了可提供高达 50W 最大功率输出的改进型产品。

参数

  • 波长 / Wavelength : 248 nm
  • 功率 / Power : 30-40 W

规格书

厂家介绍

赛默公司是领先的准分子光源供应商,提供对当今半导体市场至关重要的深紫外(DUV)光刻光源。Cymer 光源以其高度窄化的带宽、更高的处理速度和可靠性而著称,是半导体行业实现当今先进半导体芯片批量生产的精确规格和制造要求的关键技术。

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