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下载规格书 加州理工学院信息科学与技术和应用物理学泰德和金格-詹金斯教授兼应用物理学和材料科学执行官瓦哈拉，与他的研究小组成员和加州大学圣塔芭芭拉分校的约翰-鲍尔斯小组成员一起，在一种名为超低损耗氮化硅（ULL nitride）的重要新材料（一种由硅和氮组成的化合物）中形成短脉冲的方式上取得了突破性进展。这种氮化硅的纯度极高，并以薄膜形式沉积。
全部产品分类
XLR 700ix概述
基于 XLR 平台的循环环技术，700ix 在带宽、波长和能量稳定性方面都有所改进，为先进的芯片制造提供了更高的扫描仪吞吐量和工艺稳定性。 XLR 700ix 为芯片制造商提供了更严格的带宽控制（晶圆平均带宽为 300 +/- 5 fm），从根本上消除了带宽作为晶圆性能工艺变化源的问题。Cymer 的技术在逐个脉冲的基础上应用高速闭环控制，从而实现极其稳定的性能。
XLR 700ix参数
- 波长 / Wavelength : 193 nm
- 功率 / Power : 60-90 W
XLR 700ix详述
其他参数
ChamberDual Ring
Bandwidth ControlDynaPulse™
XLR 700ix规格书
XLR 700ix厂家介绍
赛默公司是领先的准分子光源供应商，提供对当今半导体市场至关重要的深紫外（DUV）光刻光源。Cymer 光源以其高度窄化的带宽、更高的处理速度和可靠性而著称，是半导体行业实现当今先进半导体芯片批量生产的精确规格和制造要求的关键技术。
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图片名称分类制造商参数描述
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