慕尼黑 517-20

分类：激光器模块和系统

厂家：相干公司

产地：美国

型号： Monaco 517-20

更新时间： 2026-03-07T06:12:38.000Z

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标签：

飞秒激光器高功率激光器工业激光器精密加工薄膜烧蚀玻璃切割

简介：

Monaco是一款基于MOPA架构的飞秒工业激光器，专为高正常运行时间和24/7应用设计。该激光器系列提供1035nm波长下80μJ/脉冲或517nm波长下30μJ/脉冲的输出，标准重复频率高达50MHz，功率为40W，适用于材料加工和微电子应用。

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概述

参数

中心波长 / Fundamental Center Wavelength (Nm) 1035-40 : 1035±5
中心波长 / Fundamental Center Wavelength (Nm) 1035-80 : 1035±5
中心波长 / Fundamental Center Wavelength (Nm) 517-20 : 517±5
中心波长 / Fundamental Center Wavelength (Nm) 517-30 : 517±5
输出功率 / Output Power (W) 1035-40 : 40
输出功率 / Output Power (W) 1035-80 : 40
输出功率 / Output Power (W) 517-20 : 20
输出功率 / Output Power (W) 517-30 : 20
能量 / Energy (μJ) 1035-40 : 40 (at 1 MHz)
能量 / Energy (μJ) 1035-80 : 80 (at 500 kHz)
能量 / Energy (μJ) 517-20 : 30 (at 670 kHz)
能量 / Energy (μJ) 517-30 : 30 (at 670 kHz)
重复频率 / Repetition Rate : Single-shot to 1 MHz, higher rep rates without AOM pulse picking: 1 to 50 MHz standard
脉宽 / Pulsewidth (Fs) : <350 to >10 ps
调谐范围 / Tuning Range : <350 to >10 ps
空间模式 / Spatial Mode : TEM00, M2<1.2
光束发散角 / Beam Divergence (Mrad, 2θ) : <1
光束直径 / Beam Diameter At 1m From Output (Mm, 1/E²) 1035-40 : 2.7±0.3
光束直径 / Beam Diameter At 1m From Output (Mm, 1/E²) 1035-80 : 2.7±0.3
光束直径 / Beam Diameter At 1m From Output (Mm, 1/E²) 517-20 : 2.0±0.2
光束直径 / Beam Diameter At 1m From Output (Mm, 1/E²) 517-30 : 2.0±0.2
光束圆度 / Beam Circularity (%) : ≥85
偏振比 / Polarization ratio : >100:1
偏振方向 / Polarization Direction : Vertical, ±3°
光束指向稳定性 / Beam Pointing Stability (μRad/°C) : <25
脉冲能量稳定性 / Pulse Energy Stability (%) (RMS) : <2
功率稳定性 / Power Stability (%) (RMS, 2σ) : <2
冷启动时间 / Warm-Up Time (Minutes) Cold Start : <45
热启动时间 / Warm-Up Time (Minutes) Warm Start : <15
长时间指向稳定性 / Long-Term Pointing Stability At Fixed Rep-Rate (μRad) : ±25 over 8 hours
激光头重量 / Head Weight : 32kg (70 lbs.)
外部通信接口 / External Comms : RS-232, Ethernet, USB
功耗 / Power Consumption : 48VDC, <500W
工作温度范围（非冷凝） / Operating Temperature (Non-Condensing) Laser Head : +10 to 30°C (50 to 86°F)
电源供应工作温度范围 / Operating Temperature (Non-Condensing) Power Supply : -20 to +60°C (-4 to 140°F)
非工作温度 / Non-Operation (Storage) : 5 to 65°C (41 to 149°F)
相对湿度 / Relative Humidity (%) : <90, non-condensing
运输温度 / Shipping Temperature : -20 to +60°C (-4 to 140°F)

应用

1. 玻璃切割和钻孔 2. 薄膜烧蚀 3. 晶圆划片 4. 陶瓷和聚合物加工 5. 精密金属标记和切割 6. 支架制造 7. OPA泵浦

特征

1. 1035nm波长下80μJ/脉冲 2. 517nm波长下30μJ/脉冲 3. 单脉冲到50MHz重复频率 4. 可调脉宽<350fs到>10ps 5. 卓越的光束质量M²<1.2 6. 支持Burst Mode 7. 单箱解决方案 8. 通过HALT/HASS设计 9. 通过以太网接口实现远程访问

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