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首页激光器和发光二极管激光器模块和系统 5517D

5517D

分类：激光器模块和系统

厂家： Keysight Technologies

产地：美国

型号： 5517D

更新时间： 2026-03-07T03:14:30.000Z

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高精度测量光学元件工业自动化半导体制造激光干涉仪

简介：

Keysight Technologies提供用于激光干涉仪定位系统的光学元件和激光头，支持高精度测量和定位。

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厂家介绍

概述

Keysight Technologies提供用于激光干涉仪定位系统的光学元件和激光头，支持高精度测量和定位。

参数

线性范围 / Linear Range : 10m (33ft)
工作温度 / Operating Temperature : 0-40°C (17-23°C to ensure system non-linearity specification)
热漂移系数 / Thermal Drift Coefficient : 0.1μm/°C (40μin/°C) typical average for each axis
重量 / Weight : 490g (18oz)
材料 / Materials Used : Housing: stainless steel and aluminum; Optics: optical grade glass; Adhesives: vacuum grade; Receiver inserts: urethane foam, acetal, 15% glass fill polyester
安装方式 / Installation : Uses 3-mm beam available from 5517C Option 003. Requires three 10780F Option 001 Remote Receivers. Compatible with the 10710A Mount.
反射率 / Reflectance : 98% at 633nm at normal incidence
平坦度 / Flatness : Flatness deviations will appear as measurement errors when the mirror is scanned perpendicular to the beam.
推荐范围 / Recommended Range : λ/4 (0.16μm or 6μin) to λ/20 (0.03μm or 1.2μin) dependent on accuracy requirements.
光学表面质量 / Optical Surface Quality : 60-40 per Mil 0-13830

应用

1. 精密机械加工 2. 半导体制造 3. 光学测量 4. 工业自动化

特征

1. 提供高精度测量 2. 支持多轴测量 3. 具有热稳定性 4. 适用于多种工业应用

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[机械工程讲义] 第十二届测量与质量控制国际会议论文集 - 信息物理问题（IMEKO TC 14 2019） || 可使用3.76 MHz或20 MHz分频氦氖激光器的三轴位移测量外差干涉仪系统开发
激光干涉仪光学信号处理三轴分频

我们研发了一套三轴位移测量外差干涉仪系统，该系统采用波长为633纳米的氦氖激光器，其分频频率可选3.76兆赫或20兆赫。系统由光学干涉仪、信号处理板和软件组成，可同步测量三个轴向的位移量，从而实时确定运动物体的距离和倾斜角度。我们开发了数字逻辑电路，用于从三个光学干涉信号转换的电信号中计算位移值。为直观展示测量结果，还开发了图形用户界面软件。此外，系统增加了通过高速通信总线实现的反馈功能，使其适用于需要扫描和对准薄膜涂层基底（如硅晶圆）的运动载物台控制。通过与商用激光干涉仪同步测量运动载物台的位移值进行对比，验证了该干涉仪的性能。
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实验方案推荐

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精密仪器实验方案
1. 实验设计与方法选择：该系统由光学干涉仪、信号处理板和软件组成。使用分频为3.76 MHz或20 MHz的氦氖激光器。 2. 样本选择与数据来源：通过测量移动平台的位移进行系统测试，并与商用激光干涉仪进行对比。 3. 实验设备与材料清单：包括Keysight 5517D氦氖激光器、Zygo ZMI 7702氦氖激光器和雷尼绍单轴激光干涉仪系统。 4. 实验流程与操作步骤：干涉仪以1 kHz采样频率测量位移，数据由数字逻辑电路处理并通过图形用户界面显示。 5. 数据分析方法：从光干涉信号转换的电信号计算位移值，并与商用系统进行性能评估。
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厂家介绍

是德科技公司（NYSE：KEYS）是全球领先的电子测量公司，通过无线、模块化和软件解决方案的创新改变当今的测量体验。凭借惠普和安捷伦的传统，是德科技凭借世界一流的平台、软件和一致的测量科学，为无线通信、航空航天、国防和半导体市场提供解决方案。该公司拥有9，500多名员工，为100多个国家的客户提供服务。