Quasar GR75

分类：激光器模块和系统

厂家： MKS | Spectra-Physics

产地：美国

型号： Quasar GR75

更新时间： 2026-03-08T02:58:10.000Z

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标签：

高功率激光器绿色激光器紫外激光器精密微加工 TimeShift技术

简介：

Quasar系列是高功率紫外和绿色混合光纤激光器，专为快速精密微加工设计，具有高紫外平均功率和高重复频率，采用TimeShift™技术实现可编程脉冲轮廓，提供卓越的速度、灵活性和控制能力。

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概述

参数

波长 / Wavelength : 355nm, 532nm
输出功率 / Output Power : >80W@200kHz, 10ns (UV80); >60W@300kHz, 10ns (UV60); >38W@3MHz, 2ns (UV60-Turbo); >95W@200kHz, 10ns (GR95); >75W@200kHz, 10ns (GR75)
最大脉冲能量或突发 / Maximum Pulse Energy Or Burst : >400μJ (UV80); >300μJ (UV60); >12μJ (UV60-Turbo); >475μJ (GR95); >375μJ (GR75)
重复频率范围 / Repetition Rate Range : 0–3.5MHz (UV80, UV60, UV60-Turbo, GR95); 0–1.7MHz (UV45, GR75)
优化TimeShift™设置 / Optimized TimeShift™ Setting : 200kHz, 10ns (UV80); 300kHz, 10ns (UV60); 3MHz, 2ns (UV60-Turbo); 200kHz, 10ns (GR95); 200kHz, 10ns (GR75)
脉冲到脉冲能量稳定性 / Pulse-To-Pulse Energy Stability : <5%
功率稳定性（热稳定后） / Power Stability (After Warm-Up) : <2%, 1σ, over 8 hours
光束指向稳定性 / Beam Pointing Stability : <25μrad/°C
功率稳定性（峰值到峰值，预热后） / Power Stability (Peak To Peak, After Warm-Up) : <3% over 8 hours
偏振 / Polarization : 100:1, vertical (UV models); 100:1, horizontal (GR models)
空间模式 / Spatial Mode : TEM00 (M2<1.3)
光束发散度 / Beam Divergence, Full Angle : <0.3mrad (UV models); <0.45mrad (GR models)
光束不对称性 / Beam Asymmetry : <1.10
脉冲宽度 / Pulse Width, FWHM (TimeShift Programmable) : <2ns to >100ns
光束直径 / Beam Diameter (1/E2) : 3.5±0.35mm
光轴容差 / Boresight Tolerance : ±0.5mm
工作温度范围 / Operating Temperature Range : 15–35°C
存储温度范围 / Storage Temperature Range : 0–50°C
湿度 / Humidity : 10–80% non-condensing
水流量 / Water Flow Rate : ≥9.5l/min
电源输入 / Power Input : 190–240VAC, 2500W maximum, 50/60Hz, single phase
激光头尺寸 / Laser Head Dimensions (L×W×H) : 39.4×14.7×9.3in (1000×373×235mm)
激光头重量 / Laser Head Weight : 200lb (90kg)
电源尺寸（长×宽×高） / Power Supply Dimensions (L×W×H) : 21.1×19.0×6.9in (536×483×176mm)
电源重量 / Power Supply Weight : 35lb (16kg)
线缆长度 / Cable Length : 5m

应用

1. 玻璃切割和钻孔 2. PCB钻孔 3. PCB切割和去毛刺 4. HDI（高密度互连） 5. 硅晶化 6. 硅片切割 7. 低K介电槽加工 8. 陶瓷加工 9. LED加工 10. 太阳能电池加工 11. ITO图案化 12. 光刻 13. CFRP切割和钻孔 14. 薄膜平面电池切割 15. 钻孔和划线MDM聚合物

特征

1. TimeShift™技术支持脉冲宽度和形状的可编程性 2. 高重复频率范围（0–3.5MHz） 3. 高功率稳定性和光束指向稳定性 4. TEM00空间模式，光束质量优异 5. 适用于24/7 OEM工具的可靠设计

规格书

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厂家介绍

Spectra-Physics成立于50多年前，是较早的商业激光公司之一。他们帮助客户使用精密激光技术来推进前沿科学并推动行业向前发展。Spectra-Physics是纽波特的一家公司，在世界各国设有办事处，为各行各业的客户提供服务。