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VOLCANO 300UV激光器光学元件 光束整形器

VOLCANO 300UV激光器光学元件

分类: 光束整形器

厂家: Innovavent GmbH

产地: 德国

更新时间: 2026-05-03T15:45:28.000Z

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光学系统 激光技术 高能量密度 激光剥离 柔性OLED显示屏 电子行业

VOLCANO® 300UV激光光学系统采用固体花岗岩结构,能够将两束激光束组合以获得高能量密度。光束通过独立的望远镜处理,并通过专门设计的均化器组合。组合后的激光束被均化为300mm长的线光束,典型宽度为20-30μm。FALCON 300UV投影镜头确保了均匀的线宽和较大的焦深,满足无故障生产的需求。

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概述

VOLCANO® 300UV激光光学系统采用固体花岗岩结构,能够将两束激光束组合以获得高能量密度。光束通过独立的望远镜处理,并通过专门设计的均化器组合。组合后的激光束被均化为300mm长的线光束,典型宽度为20-30μm。FALCON 300UV投影镜头确保了均匀的线宽和较大的焦深,满足无故障生产的需求。

参数

  • 波长 / Wavelength : 343nm
  • 线长度 / Line Length : 300mm (top-hat-profile)
  • 线宽 / Line Width : 20μm FWHM (Gaussian profile)
  • 均匀性 / Homogeneity : p2p≤6% best focus
  • 景深 / DoF : ≥140μm for p2p≤10%
  • 能量密度 / Energy Density : ≥230mJ/cm²@20μm FWHM
  • 脉冲持续时间 / Pulse Duration : 15-20ns FWHM, can be extended
  • 重复频率 / Repetition Rate : 10kHz
  • 激光 / Laser : TruMicro 3820 (Trumpf Lasertechnik)
  • 诊断 / Diagnostics : laser power meter
  • 诊断 / Diagnostics : substrate power

应用

1. 用于电子行业的激光剥离工艺 2. 生产电视产品、智能手机、智能手表和平板电脑的柔性OLED显示屏 3. OLED显示屏制造在玻璃基板上的柔性聚合物薄膜上完成

特征

1. 采用固体花岗岩结构,确保稳定性 2. 专门设计的均化器实现高能量密度 3. 投影镜头提供均匀线宽和较大焦深

图片集

VOLCANO 300UV激光器光学元件图1
VOLCANO 300UV激光器光学元件图2

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厂家介绍

INNOVAVENT GmbH专业从事激光光学系统的开发和制造,该系统由集成商安装在生产工厂中。 特别是,INNOVAVENT从一开始就专注于半导体制造以及LCD和OLED显示器制造中的热工艺。薄膜晶体管生产所需的非晶硅层的晶化在这里起着核心作用。

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