Nano-MET10和Nano-MET20紧凑型单轴压电纳米定位系统

Nano-HL系列单轴台是重型压电纳米定位器，设计用于承载重达10千克的负载。Nano-HL由一块近2英寸（50毫米）厚的铝块制成，具有足够的物理刚性来抵消较大的离轴负载，同时继续产生精确、高分辨率的运动。内部位置传感器采用专有的PicoQ®技术，可在闭环控制下以亚纳米分辨率提供绝对、可重复的位置测量。Nano-HL系列载物台可在任何方向上操作，并可定制以满足特定安装和特殊安装要求。

Nano-M3Z是一种紧凑的三轴（Z，θx，θy）压电纳米定位系统，由铝制成。Nano-M3Z的紧凑设计使其能够集成到空间受限的现有仪器中。Nano-M3Z非常适合需要精确对准能力的苛刻应用。内部位置传感器采用专有的PicoQ®技术，在闭环控制下以皮米和纳级精度提供绝对、可重复的位置测量。相关型号Thenano-Man5将线性X和Y运动与Nano-M3Z的功能相结合。

Nano-P系列是压电驱动、闭环、线性纳米定位器，采用独特的柔性铰链设计。使用先进的放电加工工艺，柔性铰链完全由单块高强度钛加工而成。该铰链首次在管状压电纳米定位器上使用，确保了较高程度的可重复性和负载能力。与市场上外观类似的产品不同，Nano-P系列没有内置碟形弹簧。贝氏弹簧不是无摩擦的，因此不能提供真正的纳米精密定位器的高度可重复性。纳米P系列的导向机构是一个真正的弯曲弹簧-消除机械摩擦和静摩擦。Nano-P系列由Invar和钛制成，具有热稳定性和机械强度的较佳组合，是较苛刻的纳米定位和计量应用的理想选择。Nano-P系列提供三种标准运动范围，集成位置传感器，采用专有的PicoQ®技术，在闭环控制下提供皮米精度的绝对、可重复位置测量。提供定制系统。

Nano-YT500是一种长距离、单轴、精密压电纳米定位系统，其中心孔径非常适合样品的光学扫描。内部位置传感器采用专有的PicoQ®技术，可在闭环控制下以纳米分辨率提供绝对、可重复的位置测量。Nano-YT500的真正挠曲导向运动将整个500μm运动范围内的端对端行程差异降至小于1μm（0.2%）。Nano-YT500可在任何方向上操作，并已经过超过1，000，000个完整周期（每个周期1000μm的总行程）的可靠性测试。