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参照光谱椭圆仪纳米薄膜-rse

分类：光学检测

厂家： Halcyonics GmbH

产地：德国

更新时间： 2026-04-29T22:57:13.000Z

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标签：

高灵敏度实时测量光谱椭偏仪污染物分析薄膜检测透明基底涂层

简介：

nanofilm_RSE是一种参考型光谱椭偏仪，通过比较样品与参考物的椭偏差异来快速检测薄膜和表面特性。

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概述

nanofilm_RSE是一种参考型光谱椭偏仪，通过比较样品与参考物的椭偏差异来快速检测薄膜和表面特性。

参数

仪器类型 / Instrument Type : Referenced Spectroscopic Ellipsometer
入射角 / Angle of Incidence : 60°
光谱范围 / Spectral Range : 450-900nm, 1.2nm resolution
数据速率 / Data Rate : 200 full spectra per second
光斑大小 / Spot Size : Up to 25×40μm microspot (standard: 200×50μm microspot)
薄膜厚度分辨率 / Film-Thickness Resolution : Typ. 0.01nm
薄膜厚度重复性 / Film-Thickness Reproducibility : 0.01nm
粗糙度容差 / Roughness Tolerance : Max. 50nm Ra
高度容差 / Height Tolerance : ±50μm
工作距离 / Working Distance : 12.5mm
有效测量时间 / Effective Measurement Time : Full 4''-wafer map at 140μm×500μm resolution in 12min (112,000 spectra), incl. modeling
光源 / Light Source : 110mW supercontinuum laser, class 3b, M²=1.1
探测器 / Detector : 2048-channel Czerny-Turner spectrometer, 16bit, 200Hz
偏振光学元件 / Polarizing Optics : Two high quality Glan-Thompson prisms, motorized
对准功能 / Alignment : Two-axis automatic sample alignment
X-Y-Z定位 / X-Y-Z Positioning : Motorized X-Y-Stage with up to 300mm range, max. 100mm/s, motorized Z-positioning in instrument head with 40mm range
软件 / Software : Including control and modeling software for easy access to all measurement and model parameters
电脑 / PC : Ready to use PC running on Microsoft Windows®, pre-installed control and modeling software
电源 / Power Supply : 100-240V, 50/60Hz
适用环境条件 / Environmental Conditions : Operating temperature range: 15-30°C, Humidity: 20-80% RH

应用

1. 晶圆检测：快速确定厚度分布，实时处理薄膜厚度数据 2. 污染物检测：高灵敏度参考技术 3. 超薄膜和中间层厚度测量：成功表征单层石墨烯等最薄层及顶层与基底间中间层的独立测量 4. 透明基底上的薄层：测量玻璃等透明基底上的涂层厚度和均匀性

特征

1. 单次测量即可获取光谱数据，数据速率高达200谱/秒 2. 高分辨率光谱测量，支持实时厚度拟合 3. 直观易用的软件包，支持多区域测量和动态分析 4. 支持透明基底和超薄膜的高灵敏度检测

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厂家介绍

自1991年以来，Accurion已成为成像椭偏仪和布鲁斯特角显微镜的做的较好的。我们的主要专长是将光学表面分析与显微镜技术相结合。这使得能够在微观特征（如MEMS、微流体、生物阵列、OLED像素等）上对表面和薄膜进行非接触表征。我们的系统已用于石墨烯和2D材料、喷墨打印、集成光子学和波导、脂质层等新应用，并且其数量正在增加。系统的模块化和大量附件允许用于科学研究以及生产线的集成设备。