纳米定位元件PU 100

电机驱动器执行器的行程范围为10 mm、13 mm、25 mm和50 mm（0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸），以适应MicroMech™Minimech™和MacroMech™系列的各种微米级驱动平台。10毫米行程单元被小型化，主体直径仅为12.7毫米（0.5英寸）。对于直径为19毫米（0.75英寸）的电动驱动器，较长的行程装置仍然很紧凑。10 mm微型致动器配有不可互换的球形高端。所有其他的都具有可互换的球形或扁平高端，两者都与装置一起提供。每个电机驱动器执行器都需要自己的手动控制装置，这些装置将在以下几页中介绍。电机驱动器执行器系列的尺寸和规格如下所示。

如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项，请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。

PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。

PU转换器由包括弯曲引导系统的单个金属部件组成。这种设计意味着PU平移台表现出极好的机械稳定性，并且因为它们是预加载的，所以可以动态地工作。FEA建模的挠性件保证了零摩擦和高鲁棒性。在高负载版本中，这些致动器可以支持高达240 N的负载，并产生40至100微米的单轴运动。它们很容易适应，因为它们既可以水平安装，也可以垂直安装。坚固耐用的设计使PU系列非常适合需要可靠的亚纳米精度的各种工业应用。

压电环形致动器由大量接触的陶瓷圆盘组成。与管式作动器相比，环形作动器的刚度更高，膨胀量是管式作动器的两倍。环形作动器有带外壳的（RA系列）和不带外壳的（R系列）。无外壳的执行机构仅在陶瓷顶部和接地板处连接。带外壳的执行机构在钻孔处用螺钉固定。没有外壳的环形致动器只能用于具有额外预载的动态应用中。RA系列的环形致动器可根据要求提供应变仪反馈传感器。