传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
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概述
三硼酸锂(LBO)是较有用的非线性光学材料之一,不仅因为其相对较大的转换系数(约为KDP的3倍),还因为其优异的物理性能。Gamdan的LBO晶体具有几个理想的特征,包括但不限于高耐久性、高损伤阈值和低吸收。
参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : LBO (Lithium Triborate)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Not Applicable
- 安装 / Mounting: : Unmounted
- 宽度 / Width: : 30mm
- 高度 / Height: : 30mm
- 长度 / Length: : 60mm
- 平整度 / Flatness: : Not Available
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : Not Available
- AR 涂层 / AR Coating: : Both Sides
规格书
厂家介绍
GAMDAN Optics股份有限公司是美国一家定制非线性光学晶体制造商,用于各种需要较高LiDT和寿命的应用。凭借几十年来在晶体生长和精密光学制造方面的技术专长,再加上我们与世界各地一流研究机构和一、二级原始设备制造商的合作开发关系,我们已经开发出了能够持续延长连续波、纳秒、皮秒和秒级高功率激光系统使用寿命的产品,飞秒区。
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图片名称分类制造商参数描述
- AgGaS2 and AgGaSe2 Crystals and Devices by United Crystals晶体United Crystals Inc.
AgGaS2和AgGaSe2是市场上仅有的非线性光学晶体,可用于红外范围内的谐波产生和OPO,特别是用于CO2激光器。
- AgGaSe2 Crystal晶体BoJen Optics, Inc.
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- EKSMA KDP Potassium Dideuterium Phosphate DKDP-406晶体Altos Photonics, Inc.
KDP薄晶体用于钛宝石激光辐射的二次谐波产生或单次自相关器中的脉冲宽度测量。对于800nm的SHG,KDP具有比BBO晶体大约2.4倍的光谱接受度和相应较小的群速失配,这有时是飞秒宽光谱脉冲的非常关键的参数。
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l硫代磷酸锂99.995%。
- Zinc Sulfide FLIR ZnS晶体Rain Group
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