传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
Cryslaser的LBO晶体概述
Cryslaser的LBO晶体参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : LBO (Lithium Triborate)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Type I, Type II
- 安装 / Mounting: : Unmounted
- 宽度 / Width: : 5mm
- 高度 / Height: : 5mm
- 长度 / Length: : 15mm
- 平整度 / Flatness: : <= Lambda/8
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 10-5
- AR 涂层 / AR Coating: : One side, Both Sides
Cryslaser的LBO晶体图片集
Cryslaser的LBO晶体规格书
Cryslaser的LBO晶体厂家介绍
Cryslaser是中国较专业、较大的激光晶体制造商之一,拥有50多年的晶体生长经验。Cryslaser成立于2007年,位于中国成都,在高科技园区拥有6000多平方米的设施。Cryslaser拥有150多名多年来一直致力于电光行业的员工,使用Czochralski技术生长大直径YAG系列晶体。他们的产品组合包括Nd:YAG、Nd:Ce:YAG、Cr4+:YAG、Yb:YAG,Er:YAG和未掺杂YAG。Cryslaser的足迹遍布全球,为美洲、韩国、加拿大、以色列和德国的客户提供服务。
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