传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
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KTP晶体概述
磷酸钛氧钾(KTiOPO4),简称KTP,是一种成本相对较低的可见-红外波段高效非线性光学晶体。具有较大的非线性系数。KTP-DEFF在1064nm处的有效非线性光学系数是BBO的1.5倍以上。
KTP晶体参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : KTP (KTiOPO4)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Type I
- 安装 / Mounting: : Mounted
- 宽度 / Width: : 5mm
- 高度 / Height: : 5mm
- 长度 / Length: : 1mm
- 平整度 / Flatness: : <= Lambda/10
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 10-5
- AR 涂层 / AR Coating: : Both Sides
KTP晶体规格书
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图片名称分类制造商参数描述
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