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G20K 2 kHz KrF准分子激光器 激光器模块和系统

G20K 2 kHz KrF准分子激光器

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日本
厂家:Gigaphoton Inc.

更新时间:2024-04-19 14:40:59

型号:

G20K 2 kHz KrF准分子激光器概述

G20K具有高能量稳定性(±0.4%)和0.6 pm或更小的窄光谱带宽(FWHM),允许在高分辨率下曝光0.18µm几何结构。

G20K 2 kHz KrF准分子激光器参数

  • 混合气体 / Gas Mixture: : KrF
  • 波长 / Wavelength: : 248 nm
  • 脉冲能源 / Pulse Energy: : 10mJ
  • 平均功率 / Average Power: : 20W
  • 最大重复率 / Max Repetition Rate: : 2000Hz

G20K 2 kHz KrF准分子激光器规格书

G20K 2 kHz KrF准分子激光器厂家介绍

2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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