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传统上，高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用，形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而，传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性，如干涉光刻。
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概述
BBO（β-BaB2O4）是一种优良的非线性晶体，可用于可见光和近红外激光的倍频（SHG），近红外到紫外波长的超快脉冲泵浦的OPO/OPG/OPA，以及可见光到深紫外的和频（SFM）。BBO晶体是少数几种可用于500 nm以下倍频和自聚焦的实用晶体之一，具有宽的可调性、高的损伤阈值和高的效率。BBO的小接收角需要非常好的光束质量，并且其大的走离导致非常椭圆或狭缝状的输出光束。I型操作通常比II型操作更有效。BBO不能用于NCPM（温度调节）应用。BBO是一种非常好的可调谐激光光源，如超快钛宝石或染料激光器，也广泛用于飞秒和皮秒钛宝石激光器的倍频、3HG、4HG和自相关。1064nm和1320nm的YAG激光器的倍频、3Hg、4Hg、5Hg，以产生212-660nm的输出；从410-750nm可调谐染料或固态激光源的SHG以产生205-375nm的输出，染料激光和YAG谐波的SFM以产生189-400nm的输出；DFM（差频混合）从可见光到高达超过3000nm的IR范围；用YAG或Ti：Sapphire的SHG或3HG泵浦的OPO，输出范围为400-3000；氩离子激光器（488，514nm）或铜蒸气激光器（510nm，578nm）的腔内SHG。
参数
- 水晶类型 / Crystal Type : BBO (Beta Barium Borate)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type : Not Applicable
- 安装 / Mounting : Unmounted
- 宽度 / Width : 4mm
- 高度 / Height : 4mm
- 长度 / Length : 4mm
- 平整度 / Flatness : Not Available
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig) : Not Available
- AR 涂层 / AR Coating : One side, Both Sides
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厂家介绍
GAMDAN Optics股份有限公司是美国一家定制非线性光学晶体制造商，用于各种需要较高LiDT和寿命的应用。凭借几十年来在晶体生长和精密光学制造方面的技术专长，再加上我们与世界各地一流研究机构和一、二级原始设备制造商的合作开发关系，我们已经开发出了能够持续延长连续波、纳秒、皮秒和秒级高功率激光系统使用寿命的产品，飞秒区。
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图片
名称
分类
制造商
参数
描述
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3photon - BBO（硼酸钡晶体）
晶体
3photon
水晶类型: BBO (Beta Barium Borate) 相位测量类型: Type I, Type II, Not Applicable 安装: Mounted, Unmounted
钡硼酸盐（BBO或BaB2O4）具有两相：α相-高温相β相-低温相β-硼酸钡（BBO）与α-硼酸钡的区别在于钡离子在晶体中的位置。虽然α-BBO相和β-BBO相都是双折射的，但α-BBO具有中心对称性，因此与β-BBO相相比具有不同的非线性性质。β-硼酸钡（BBO）是一种非线性光学（NLO）晶体，具有一系列特性：对于紫外（UV）具有大的非线性系数、高的损伤阈值、宽的相位匹配、对于超快应用具有低的GDD以及宽的透明范围。BBO晶体是较好的电光（E-O）晶体和较好非线性光学（NLO）晶体之一，它们广泛用于较流行的激光器和光学参量振荡器（OPO）中的二次-五次谐波，主要（但不限于）Ti：蓝宝石、Yb：KGW/KYW激光系统、Pockel电池和其他应用
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3photon - LBO（三硼酸锂晶体）。
晶体
3photon
水晶类型: LBO (Lithium Triborate) 相位测量类型: Type I, Type II, Not Applicable 安装: Mounted, Unmounted
由于高损伤阈值，宽透明范围的三硼酸锂（LBO）主要用于二次谐波产生（SHG），也称为倍频和三次谐波产生（THG）。晶体可以被加热以保护或稳定性能，然后它们可以用于高功率应用。3光子的主要优势是高损伤阈值10 J/cm²@355 nm（对于单波段）的AR涂层LBO晶体，这使得在非常高的强度下具有高转换效率的优异性能。
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GB集团的AgGaS2和AgGaSe2晶体
晶体
GB group, Inc.
水晶类型: AgGaSe2 (Silver Gallium Selenide), AgGaS2 (Silver Gallium Sulfide) 相位测量类型: Not Applicable 安装: Unmounted
银硫化镓（AgGaS2）和银亚硒酸镓（AgGaSe2）晶体由于其在中红外和深红外区域具有大的非线性光学（NLO）系数和高透射率而在中红外和深红外（IR）应用中引起了特别的兴趣。AgGaS2的相位匹配和透射特性允许在中红外和近红外波段发生三波相互作用，AgGaS2已被用作3-10 mm红外输出的有效非线性光学晶体，特别适用于Nd：YAG激光泵浦的OPO器件，钛宝石或Nd：YAG激光泵浦的OPO输出的混频，以及染料和钛宝石或其他激光光源与Nd：YAG激光器的混频。AgGaS2也被证明是一种有效的红外辐射倍频晶体，如CO2激光器的10.6mm输出。
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联合晶体公司的AgGaS2和AgGaSe2晶体和器件
晶体
United Crystals Inc.
水晶类型: AgGaSe2 (Silver Gallium Selenide), AgGaS2 (Silver Gallium Sulfide) 相位测量类型: Type I 安装: Mounted, Unmounted
AgGaS2和AgGaSe2是市场上仅有的非线性光学晶体，可用于红外范围内的谐波产生和OPO，特别是用于CO2激光器。
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AgGaS2晶体
晶体
BoJen Optics, Inc.
水晶类型: AgGaS2 (Silver Gallium Sulfide) 相位测量类型: Type I 安装: Unmounted
AgGaS2（AGS）晶体在0.50-13.2μm范围内是透明的。在Nd：YAG激光泵浦的OPO中，利用AGS晶体在550nm处的高短波长透过率边缘；在大量的DIOD差频混频实验中；覆盖3-12um范围的钛宝石、Nd：YAG和红外染料激光器；用于直接红外对抗系统；AGS晶体也是CO2激光器SHG的一种选择。薄的AgGaS2（AGS）晶体板在通过使用近红外波长脉冲的差频产生中红外范围的超短脉冲产生中很受欢迎。AGS尺寸：标准外尺寸：8x8mm和5x5mm，厚度为1.0-30.0mm
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