193纳米高输出-低重复型GIGANEX 600W型激光器

分类：激光器模块和系统

厂家： Gigaphoton Inc.

产地：日本

更新时间： 2024-04-19 14:40:59

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概述

我们相信，通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术，并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合，新创建的Giganex也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新，作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的，并且是为较大限度的通用性而设计的，因此可以预期它是高度可靠的。此外，它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点，并有望实现更适合激光退火的设计。

参数

混合气体 / Gas Mixture : ArF
波长 / Wavelength : 193 nm
脉冲能源 / Pulse Energy : 1000mJ
平均功率 / Average Power : 600W
最大重复率 / Max Repetition Rate : 600Hz
脉宽 / Pulse Duration : 17ns

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厂家介绍

2000年，Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来，Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源，并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。此外，他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主，拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地，成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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